판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293811570

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S (TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S) 는 다양한 산업 및 응용 분야에 사용되는 집적 회로 제작에 사용되는 에처/애셔입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 제조 공정의 중요한 부분이며 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판에서 정확한 회로를 만드는 데 사용됩니다. "에너지 '는 전자기" 에너지' 를 이용 하여 기판 에서 물질 을 제거 하여, 회로 의 기하학, 두께 및 기타 특징 들 을 극히 정확 하게 제어 할 수 있게 한다. TEL TE 8500 (S) 은 에너지 빔 소스를 특징으로하며, 30 미크론 정도의 작은 크기로 최대 2200 와트의 전력을 공급할 수 있습니다. 이렇게 하면 서브미크론 정밀도 (submicron precision) 로 피쳐를 에치 (etch) 할 수 있으며, 빛의 파장보다 훨씬 낮은 선 너비를 달성할 수 있습니다. 이 소스는 20 ~ 150kHz의 광범위한 작동 주파수를 제공하며, 진공 압력에서 25 mTorr까지 작동 할 수 있습니다. 공압 구동 압력 단계 (pneumically driven pressure stage) 가 제공되어 사용자가 기판을 웨이퍼 서피스에 정밀하게 정렬할 수 있습니다. 이를 통해 집중된 레이저 빔과보다 정확한 에칭이 가능합니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) 은 또한 특허받은 조정 가능한 초점 가이드를 갖추고 있으며, 이를 통해 레이저 빔의 초점을 조정할 수 있습니다. 이것은 316 개의 스테인리스 스틸 챔버와 함께 우수한 부식 및 마모 방지 디자인을 가지고 있습니다. TE 8500 (S) 은 고정밀 로터리 및 리프트 스테이지, 디지털 디스플레이 및 키보드 입력, 터치 감지 기능을 갖춘 올인원 설계를 갖추고 있습니다. 긴급 정지 (Emergency Stop) 및 연동 (Interlock) 기능과 자동 차단 및 공기 냉각 시스템을 갖춘 내장 안전 시스템이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500S는 웨이퍼/기판 에칭/애싱에서 도구 제작 및 R & D에 이르기까지 다양한 응용 프로그램을 처리하도록 설계되었습니다. 탁월한 정확성과 안정적인 안전 기능으로 집적회로 제작을 위한 완벽한 에처 (etcher )/애셔 (asher) 가 됩니다.