판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293643118

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S etcher/asher는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 사용되는 고급 에치/애쉬 장비입니다. 고객의 특정 요구에 맞게 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 매개변수를 조정할 수 있는 정적 프로세스 변경 시스템입니다. 이 장치는 저온, 고해상도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스, 복잡한 멀티 스텝 프로세싱을 지원하며 다양한 재료를 사용하여 작동합니다. TEL TE 8500 (S) 에는 오븐, 컨베이어, 로드 잠금, 공정 챔버 및 웨이퍼 전송 기계가 포함 된 소형 디자인이 있습니다. 또한 2 개의 in-situ ashing 프로세스 챔버 (각각 병렬 구성으로 독립적으로 작동 할 수 있음) 가 포함되어 있어 광범위한 에칭 및 애싱 요구 사항에 대한 etch/ash 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 공정 챔버에는 최대 220m Torr 압력과 최대 180-의 온도로 20 인치 웨이퍼를 처리 할 수있는 기능이 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) 에는 프로세스 설정을 쉽게 조정할 수 있는 고급 자동 조정 도구가 장착되어 있습니다. 또한 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 제어하기위한 고급 모니터링 모델뿐만 아니라, 정확한 프로세스 매개변수를 허용하는 사용자 선택 가능한 가스 분배 제어 (gas distribution control) 자산이 특징입니다. 또한 안전한 작동을 보장하기 위해 ESD 감지, 과압 방지, 유독 가스 누출 모니터링 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 정교한 장비 설계 외에도 TE 8500S (TE 8500S) 에는 다양한 고급 프로세스 소프트웨어가 장착되어 있습니다. Process Chemist 소프트웨어를 사용하면 필요에 따라 프로세스 레시피를 사용자 정의하고 세밀하게 조정할 수 있으며, Process Commander 소프트웨어를 사용하면 다양한 방법으로 시스템 매개변수를 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) 은 SIEMENS 및 Agilent AssetView 시스템과도 호환되므로 단위 데이터를 쉽게 추적 및 분석 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) 는 다양한 기능 및 기능을 제공하여 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 적합합니다. 고급 머신 설계, 안전 기능, 다양한 프로세스 소프트웨어 (process software) 를 통해 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적인 옵션을 선택할 수 있습니다.