판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293608636
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ID: 293608636
빈티지: 1996
Oxide etcher
Wafer type: Flat
Chuck type 1: Polymide
Chuck type 2: ESC
Cassette, 6"
Monitor type: LCD
Signal tower: PATLITE SLF-V (R / Y / G / B)
Wafer transfer module:
Transfer robot: Load lock 1, 2, 3 / 6" or 8"
Transfer robot motor: R-Motor, E-motor (L/L 1,2,3)
Transfer robot driver: R-Driver, E-driver (L/L 1,2,3)
Process module 1:
APC Valve: TYLAN MDV-108
APC Heater and heater controller: Heater type
DAIHEN MEM-20SA Matcher
DAIHEN MFT-20SB Power splitter
VACCUM GENERAL CMLA-11 C/M (Baratron): 10 Torr
B.P He Control (Edge):
C/M (Baratron): TYLAN CMLA-21 100 TORR
PCV Unit / He controller: AERA PV-104C
MFC: SEC-7440
SEIKO SEIKI STP-H600C-T107 TMP
GAP
DC HV Module
Gas module: P/C1
MFC / Gas1: O2 / 20 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas2: N2 / 100 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas3: AR / 2 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas4: CF4 / 200 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas5: CHF2 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440
DAIHEN MFG-20SA P/C Power generator
LASEM TECH BCU-L152 Dual chiller
EDWARDS iQDP80 P/C Pump
EDWARDS iQDP80 L/L Pump
JOBIN YVON H-10VIS EPD
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S는 반도체 생산 공정에 종종 사용되는 최첨단 에칭/애서 장비입니다. 첨단 기술을 활용하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 높은 수준의 정밀도, 정확도 및 속도를 제공합니다. TEL TE 8500 (S) 의 혁신적인 설계로 자동화되고 정확한 에칭 및 애싱 프로세스가 가능합니다. 이는 웨이퍼 레벨 감시 카메라, 특수 유형의 에칭/애셔 에이전트 등 다양한 장비로 수행됩니다. 또한, 이 시스템은 원격으로 작동 할 수 있으며, 매우 최소한의 인간 입력으로 다른 에칭/애셔 (etching/ashers) 프로세스를 빠르고 정확하게 수행하기 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한, 진공 에칭/애셔 공정 (vacuum etching/ashers process) 을 통해이 프로세스는 매우 효율적이며, 이는 기판 손상을 줄이고 에치 균일성을 향상시킵니다. 이 기계에는 총 압력 게이지 (total pressure gauge), O2 컨텐트 센서 (O2 content sensor) 및 필름 두께 모니터 (film thickness monitor) 와 같은 다양한 센서가 장착되어 있어 정확하고 정확한 프로세스 모니터링이 가능합니다. 또한, 이 장치는 유지 보수가 쉽도록 설계되었으며, 이는 운영 라인의 다운타임을 줄여줍니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) 는 polysilicon 및 silicon oxide, bipolar, CMOS 및 analog 장치와 같은 광범위한 재료를 사용하여 생산 라인에 대한 다용성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 200mm, 300mm 및 450mm 크기와 같은 다양한 직경으로 작동 할 수 있으며 2 인치에서 8 인치 사각형 웨이퍼까지 다양한 웨이퍼 캐리어를 제공 할 수 있습니다. 프로세스 제어 측면에서 TE 8500 (S) 은 프로세스 제어 향상, 모니터링 제한 등 다양한 옵션을 제공합니다. 이 기계는 또한 사용자 안전 (User Safety) 을 염두에 두고 설계되었으며, 환경적 위험으로부터 운영자를 보호하기 위해 특정 안전 라인 (Front Line of Safety) 과 같은 특정 안전 기능을 활성화 할 수 있습니다. TE 8500 (S) 에칭/애시어 (etching/ashere) 도구는 모든 프로덕션 라인을 위한 안정적이고 유연한 솔루션으로, 견고성 있는 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 첨단 설계는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 높은 정확도, 속도 및 정밀도 표준을 제공합니다. 원격 운영, 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control) 및 사용자 친화적인 설계로 모든 운영 라인에 매우 효과적인 툴이 됩니다.
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