판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC #9194482

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC는 TEL에서 제조 한 고성능 에처/애셔입니다. 그것은 2 개의 개별 챔버, 하나는 에칭, 하나는 애싱 (ashing) 으로 구성된 멀티 챔버 장비입니다. 이를 통해 높은 처리량과 낮은 기판 간 변형을 허용합니다. 이 시스템에는 유연성과 사용 편의성을 제공하는 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 8500S의 에처 챔버 (etcher chamber) 에는 다양한 물질의 최적화 된 에칭을위한 산소, 헬륨 및 염소 기반 소스 가스를 함유하는 3 구역 소스가 포함되어 있습니다. 애셔 챔버 (asher chamber) 는 가스 흐름에 대한 정확한 수준의 제어를 제공하여 금속 층과 유전층 모두를 처리하도록 설계되었습니다. 애셔 (asher) 는 또한 애싱 작업에 대한 가스 흐름의 수량/비율을 프로그래밍하고 제어 할 수있는 기능을 제공합니다. 두 챔버 모두에서 8500S에는 구성 가능한 에칭/애싱 챔버 (etching/ashing chamber) 및 플래튼 형상 (platen geometry) 이 장착되어 있어 균일하고 반복 가능한 에칭/애싱 성능을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 프로세스 매개변수 및 레시피 개발에 대한 자세한 제어가 가능한 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스가 있습니다. TEL TE 8500S ESC 는 또한 잠긴 운영 및 환경 보호 시스템 (Environment Protection Machine) 과 같은 고급 안전 조치를 통해 모든 유형의 사고를 방지하고 안전한 환경을 보장합니다. 또한, 이 도구에는 프로세스 및 자산 오류 가능성을 줄이는 자동화된 오류 감지 (error detection) 및 수정 기능이 있습니다. 8500S는 진공 제어 대기 환경을 사용하여 깨끗하고 오염 된 무료 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 환경을 보장합니다. 이 모델은 또한 가스 분사 장비를 갖추고 있으며, 라디칼 (radicals) 이나 염소 (fluorine) 와 같은 분자와 같은 외국 가스를 도입 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC (TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC) 는 신뢰할 수 있는 Etcher/Asher로, 업계 목적에 필요한 안정성, 속도 및 고성능 기능을 사용자에게 제공합니다. 챔버는 컴팩트하며 다른 시스템과 쉽게 통합됩니다. 자동 오류 감지, 사용자 친화적 소프트웨어, 구성 가능한 에칭/애싱 챔버 (etching/ashing chamber) 와 같은 고급 기능을 갖춘 8500S ESC는 효율적이고 정확한 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다.