판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #9158083

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE는 고급 플라즈마 프로세싱과 광범위한 에치/애쉬 기능을 결합한 에처/애셔입니다. 이 모델은 다운타임을 최소화하고 전반적인 유지 보수 비용을 절감하는 탁월한 품질 (Quality Processing) 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 향상된 에치 균일성을 위한 독특한 에지 라운드 (edge-rounded) 벽 기술을 갖추고 있으며 일관된 에치/애쉬 성능을 보장하는 MFF (InformationFrequency Generator) 가 장착되어 있습니다. TEL TE 8500PE 에처/애셔에는 SoftCath (TM) 플라즈마, EMC (TM) 전자 빔 소스 및 고급 플라즈마 소스 센서 기술이 장착되어 있어 다른 에처에 비해 선택성 및 에치 속도가 향상되었습니다. 이 시스템은 또한 여러 레시피 지원, 프로세스 자동화, 직관적인 사용자 인터페이스, 사용자 정의 프로파일 저장 기능 등을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 PE etcher/asher는 높은 진공 장치 및 고급 가스 전달 기계를 갖추고 있어 정밀한 가스 흐름 제어를 가능하게합니다. 이 도구는 최대 프로세스 온도가 700 '이고 최대 표면 활성화를 위해 높은 이온 에너지가 최대 30 eV입니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE etcher/asher에는 실시간 챔버 모니터링, 프로세스 조건에 대한 정확한 제어, 온보드 진단 등 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 옵션이 제공됩니다. 이 자산은 TEL 및 기타 제조업체의 다른 etcher/ashers 시스템 및 공정 챔버와도 호환됩니다. 이러한 모든 기능을 갖춘 TE 8500 PE etcher/asher 는 다운타임 및 비용 절감 효과를 최소화하면서 고급 etch/ash 기능을 필요로 하는 기업에 이상적인 선택입니다.