판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643486

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE는 플라스틱, 금속 및 세라믹과 같은 다양한 기질에서 전기 성분을 만드는 데 사용되는 에처 (asher라고도 함) 입니다. TEL TE 8500PE에는 500mm x 500mm 쿼츠 챔버가 장착되어 있으며 최대 200 웨이퍼/로드 용량의 고속 기판 운송 장비가 있습니다. 이 시스템은 매우 매끄럽고 균일 한 에칭 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 PE는 VPE (Vacuum Plasma Etching), RIE (Reactive Ion Etching), PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), Inducely Coupled Deposition 및 Atosition plition (Atasition), Aticition plition, Atasition plition plition (Atasma), Atomition), plition plition Plasition Plasma, Plasm를 포함하여 Plasm를 포함하여 PlAS를 포함한 plere를 포함하여 plere를 포함하여 a. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE에는 프로세스 안정성을 보장하기 위해 고급 프로세스 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 폐쇄 루프 온도 제어 도구, 압력 모니터링 자산, 공정 압력 제어 모델, 프로세스 가스 흐름 모니터 (process gas flow monitor) 및 공정 압력, 온도 및 가스 흐름을 제어하기위한 질량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 가 포함됩니다. 또한 TOKYO ELECTRON TE 8500PE에는 프로세스 분석 및 수율 예측을위한 내장 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 또한 TEL TE 8500 PE 는 다양한 옵션 기능과 액세서리를 제공하여 성능을 더욱 향상시킵니다. 이러한 액세서리에는 까다로운 프로세스를위한 더 강력한 플라즈마 생성을위한 RF 발전기, 노출 프로세스 지원을위한 쿼츠 노출 헤드, 프로세스 선택성 향상을위한 추가 프로세스 가스 소스, 노출 후 샘플을 찾기 위한 샘플 파인더 (Sample Finder) 가 포함됩니다. TE 8500PE는 마이크로프로세서 (microprocessor), 트랜지스터 (transistor) 및 기타 부품을 만드는 데 사용될 때 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하는 매우 다양한 기계입니다. 첨단 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 다양한 옵션 기능으로 인해 시장에서 가장 인기있는 에처 중 하나입니다.