판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293635445

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE etcher/asher는 물리적 증기 증착 (PVD) 과 함께 직류 (DC) 평면 마그네트론 플라즈마 프로세스를 사용하는 아트 에칭 장치의 상태입니다. 이 고도의 고급 에처/애셔는 플라즈마 에칭 및 박막 증착에 사용됩니다. 이 장치는 많은 기술 기능을 갖추고 있으며, 전통적인 에칭/증착 기술에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. TEL TE 8500PE는 독특한 듀얼 소스 설계를 제공하며, 에칭/증착 프로세스에서 뛰어난 유연성을 제공합니다. 그것 은 "헬륨 ', 염소," 아르곤', 산소 및 수소 와 같은 여러 가지 "가스 '를 사용 하는 방법 을 제공 하여" 에칭' 및 증착 과정 에 있어서 대단 히 다재다능 하다. 이 장치에서 강력한 마그네트론은 강렬하고 균일 한 플라즈마 필드를 생성하여 이상적인 에칭/증착 프로세스 결과를 보장합니다. 또한 DC 전원 공급 장치는 에칭 (etching) 및 증착율을 보다 효과적으로 제어하여 고품질 에칭/증착 프로세스를 지원합니다. 증착률이 매우 높은 TOKYO ELECTRON TE 8500 PE는 높은 범위의 범위를 달성 할 수 있습니다. 이 고급 에처 (advanced etcher )/애셔 (asher) 는 복잡한 디자인의 대형 밀폐 챔버로, 안정적인 온도 및 압력 제어를 제공하며, 에칭/증착 과정의 품질 문제를 방지합니다. 또한, 이 장치에는 흡입 범퍼, 광학 방출 분광학 및 쿼츠 수정 모니터링 (quartz crystal monitoring) 과 같은 기술이 장착되어 품질 제어가 가능합니다. TE 8500 PE는 또한 고급 안전 및 환경 보호 기술 (자동 누출 감지, 탄소 필터 시스템, 진공 대피 시스템 포함) 을 사용하여 대용량 생산에 적합합니다. 또한, 이 장치는 자동 유지 관리 시스템 (Automated Maintenance System) 으로 설계되어 장치를 쉽게 서비스하고 외부에서 업데이트할 수 있습니다. 요약하자면, TE 8500PE etcher/asher는 정교한 에칭/증착 장치로, 에칭 및 증착을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 프로세스를 제공합니다. 고급 기능으로 인해 대용량, 균일 한 에칭 및 증착을위한 완벽한 솔루션이되었습니다. 또한, 강력한 마그네트론, 대형 밀폐 챔버, 정교한 안전 및 유지 보수 기능으로 인해 모든 에칭/증착 시설에 이상적인 장치가되었습니다.