판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #155452

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE는 높은 처리량, 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 에칭과 재싱의 경우 각각 최대 1.02 µm 및 50 äm의 해상도로 탁월한 정확도를 제공하여 필름 두께가 얇아집니다. 이 장비는 또한 산화 실리콘, 질화 실리콘, 질화 티타늄 (Titanium nitride) 과 같은 광범위한 재료를 처리 할 수 있으므로 소형화 및 고밀도 장치의 제조가 가능합니다. TEL TE 8500PE는 최대 2,500 sccm의 높은 가스 흐름 속도와 내부 메모리에 최대 44 개의 고속 레시피 프로그램을 저장하여 사용자가 신속하게 프로그래밍하고 다른 레시피 사이에서 변경할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 PE (TOKYO TE 8500 PE) 는 또한 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 갖춘 강력한 임베디드 컴퓨터 운영 체제를 갖추고 있어 레시피 설정과 매개변수 조정이 용이합니다. 다른 기능으로는 최대 7KW의 듀얼 음극 RF 전원 공급 장치 (Dual Cathode RF Power Supply) 와 실시간 데이터 수집을위한 프로세스 모니터링 장치 (Process Monitoring Unit) 가 있습니다. TE 8500PE에는 자동화된 카세트-카세트 (Cassette-to-Cassette) 웨이퍼 전송 머신이 장착되어 있어, 한 번에 최대 200개의 웨이퍼를 처리할 수 있어 처리량이 높고 정확도가 높은 프로세스가 가능합니다. 또한, 공구에는 프로세스 안정성을 위해 레시피 매개변수를 모니터링하고 조정하는 자동 체크 아웃 (auto-checkout) 기능이 있습니다. 클로즈드 루프 제어 (closed-loop control) 자산에 의해 온도, 압력 및 기타 에칭 및 애싱 매개변수에 대한 정확한 제어가 제공되므로 사용자가 높은 반복성을 얻을 수 있습니다. 공정 통제와 함께, TOKYO ELECTRON TE 8500PE에는 다중로드 잠금 메커니즘 (multiple load-lock mechanism) 과 같은 안전 기능과 작동 장치를 방사선으로부터 보호하기위한 안전 쉴드가 장착되어 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 자동 클리닝 사이클이 있으며 운영 비용을 절감하는 최적화된 산업 디자인으로 빠른 유지 관리 기능이 있습니다. TE 8500 PE는 정밀 에칭 및 재싱 프로세스에 이상적인 에처/애셔로, 탁월한 정확성과 반복성, 높은 처리량, 광범위한 공정 재료, 강력한 기능, 안전 기능을 제공합니다.