판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #9398283

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P etcher/asher는 집적 회로 처리, 평면 패널 디스플레이 생산, 포토 마스크 패턴 등 많은 응용 프로그램의 다양한 재료 표면을 구체화하는 데 사용되는 고효율 에칭/애싱 장비입니다. TEL TE 8500 P 시스템은 고급 제어 기술 (Advanced Control Technology), 프리미엄 구성 요소 (Premium Component) 및 포괄적인 안전 기능을 결합하여 높은 성능 및 내구성을 제공합니다. 독자적인 소프트웨어 알고리즘과 하드웨어 구성요소를 활용하여 사용자가 노출, 타이밍, 온도 등을 정확하게 제어할 수 있도록 합니다 (영문). TOKYO ELECTRON TE-8500 P etcher/asher 유닛은 통합 진공 척이있는 강력한 에찬 유닛과 정밀 에칭/애싱 프로세스를 제공하는 통합 애셔 챔버로 구성됩니다. 에칭/애싱 머신 (etching/ashing machine) 에는 유해 가스를 제거하기위한 에어 후드 (air hood) 와 잠재적 인 유해 물질을 줄이기 위한 가스 정화 도구가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500P는 또한 시한 및 온도 조절 에칭/애싱 프로세스를 제공하며, 고품질 에칭/애싱을 위해 최대 8 개의 가스 연결을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P의 정확한 온도 조절 및 조절 가능한 고주파 에치 소스는 에치 시간을 줄이고 진동을 줄이고 균일성을 향상시킵니다. 에치 속도를 조정하기 위해 에셋은 높은 온도, 중간 온도, 낮은 온도 설정을 선택할 수 있습니다. 전류 모드 및 전압 모드는 조정이 가능하며, 에치 가스 프로파일을 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 P에는 운영자가 문제가 발생하면 장치를 확인하고 디버깅 할 수있는 '유지 보수 포트 (maintenance port)' 도 장착되어 있습니다. 이 모델은 또한 자동 조정, 향상된 메모리 관리, 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능을 제공하여 장비 모니터링을 촉진하고 예상치 못한 다운타임을 방지합니다. TE-8500 P 에처/애셔 시스템은 CMP 및 금속 에칭, 합금, 세라믹 재료 및 유기 재료와 같은 제조 공정에 효율적이고 다재다능한 솔루션을 제공합니다. 사용자 설정 (User Setup), 안정적인 운영, 고품질 (High-Quality) 의 최소한의 성능이 요구되므로 많은 에칭 및 애싱 (Ashing) 작업에 적합합니다.