판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293766868
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P는 반도체 장치 제조를위한 자동 etcher/aser입니다. 이 장비에는 자동 코팅 챔버, 냉장고 커버, 프로그래밍 가능한 연마 탐지기, 로드 락 암 시스템 (load lock arm system) 과 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. TEL TE 8500 P (TEL TE 8500 P) 는 고급 에어 베어링 플랫폼을 사용하여 반도체 장치의 패드 레벨에 대한 정확한 모션 제어 및 안정성을 제공합니다. 이를 통해 주기가 짧고 프로세스 균일성이 개선된 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE-8500 P는 에칭 사이클에서 3 단계 프로세스를 갖추고 있으며, 동시에 최대 8 개의 다른 재료를 에칭할 수 있습니다. 첫 번째 단계 는, 그 과정 을 방해 할 수 있는 오염 물질 을 제거 하기 위해 고안 된, 치료 전 단계 이다. 두 번째 단계는 원하는 프로파일 (profile) 과 서피스 마무리 (surface finish) 를 달성하는 데 도움이 되는 연마 단계입니다. 제 3 단계는 외부 마모와 부식으로부터 장치를 보호하기 위해 단단한 보호 코팅을 적용하는 보호 레이어 에칭 (protective layer etching) 단계입니다. 또한 TOKYO ELECTRON TE 8500P는 자동 코팅 챔버로 인한 처리 오류 및 주기 시간을 줄입니다. 약실 은 "에칭 '과정 중 에" 코우팅' 입자 가 빠져나가는 것 을 방지 하고 주기 의 속도 를 높인다. 약실 에는 냉장고 덮개 가 장착 되어 있어서, 공정 온도 를 낮추고, 조종 된 대기 를 제공 하여 "에칭 '을 더욱 균일 하게 한다. 이 특징들의 조합은 정확하고 신뢰할 수있는 표면 화학을 제공하여, 폐기물을 줄이고, 수확량을 향상시킵니다. TE 8500 P는 또한 온도 조절을 최적화하여 기질 전체에서 균일 한 온도를 유지합니다. 이를 통해 프로세스 전반에 걸쳐 더 빠른 에칭 주기와 정확한 품질 제어가 가능합니다. 또한, 장치의 프로그래밍 가능한 연마제 검출기는 연마제 입자의 정확한 제어를 가능하게하여, 기판 손상의 위험을 줄입니다. 로드 락 암 머신 (load lock arm machine) 은 기판 간 접촉을 최소화하여 결함 및 손상의 위험을 더욱 줄입니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 P는 고품질의 반복 가능한 결과를 생성하도록 설계된 고급 산업용 에처/에저 도구입니다. 고급 기능과 정확한 온도, 정확한 표면 제어 (surface control) 기능을 결합한 이 자산은 효율적이고 신뢰할 수 있는 에칭 솔루션을 제공합니다. 첨단 기능, 자동화된 프로세스를 통해 초고속 (ultra-high) 처리량을 유지할 수 있으며, 고급 반도체 장치 제조업체에 널리 사용됩니다.
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