판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293668446
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ID: 293668446
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Dry etcher, 6"
Process: Etch oxide
Main body
Load lock
Facilities connections
Dry pump
Gas panel
Chamber
Endpoint monitor
Power supply: 208VAC, 50 / 60 Hz
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P etcher/asher는 집적 회로, 마이크로 전자 제품 및 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 아트 리소그래피 장비의 상태입니다. 이산화탄소 (CO2) 레이저를 에너지의 주요 공급원으로 사용하여 실리콘 웨이퍼에 미세 구조를 만듭니다. CO2 레이저 빔은 맥박 너비가 나노 초 미만이고 유창도가 최대 1.8 J/cm2 인 빠르고 정확하게 생성됩니다. "레이저 빔 (laser beam) '은 크기, 모양 및 강도에 맞게 조정하여 원하는 미세 구조를 생성할 수 있습니다. "레이저 '광선 은 2 개 의 통합" 갈바노미터' 거울 과 2 개 의 "줌 '" 렌즈' 를 사용 하여 고도 의 정밀도 로 지향 하고 제어 한다. TEL TE 8500 P etcher/asher에는 정교한 패턴 인식 시스템도 있습니다. 이 단위는 들어오는 이미지에서 패턴을 인식하고 그에 따라 레이저 빔을 조정하는 알고리즘을 사용합니다. 이렇게 하면 대상 패턴이 웨이퍼에서 정확하게 재생산됩니다. TOKYO ELECTRON TE-8500 P는 드라이 에칭에서 화학 증기 증착에 이르기까지 광범위한 프로세스를 제공합니다. 실리콘, 사파이어, 게르마늄 등 다양한 기질과 함께 사용할 수 있습니다. 또한 습식 에칭, 건식 에칭, 빠른 열 어닐링 및 단일 웨이퍼 리프트 오프와 같은 다양한 재료 최적화 프로세스를 제공합니다. 또한, 기계는 각 특정 프로세스에 대한 최적의 수준 (range of level) 및 제어 매개변수 (control parameters) 를 식별 할 수 있습니다. 이를 통해 생산량은 극대화되고 유지되며, 오류 및 결함의 최소화가 달성됩니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 P는 또한 수많은 로봇 시스템과 호환되며, 제조업체는 자동화를 생산에 사용할 수 있습니다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 광범위한 유지 보수 및 장애 모니터링 시스템을 갖추고 있어 높은 성공으로 지속적으로 운영 할 수 있습니다. TE 8500P는 강력한 CO2 레이저를 사용하여 기판에 정확한 미세 구조를 만드는 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 도구입니다. 이 기능은 정교한 패턴 인식 (pattern recognition) 과 최적 제어 매개변수 (optimal control parameter) 를 갖추고 있어 작고 복잡한 컴포넌트 제조에 이상적입니다. 또한 여러 로봇 시스템과 호환되므로 자동화 (automated production) 할 수 있습니다. 또한, 수많은 장애 모니터링 시스템은 안정적이고 지속적인 운영을 보장합니다.
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