판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293643485

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P는 반도체 제조 공정에 사용되는 고급 에처 및 애셔입니다. 다용도 에처 (etcher) 에는 다중 에치 프로세스, 200mm/min의 높은 처리량, 선택 가능한 균일성 제어 등 많은 기능이 제공됩니다. 8500P는 온도, 압력, 식각 속도 (etch rate) 에 대한 실시간 모니터링을 통해 뛰어난 프로세스 제어를 제공하여 정확한 에치 프로파일을 제공합니다. 에처는 염소, 요오드 및 기타 에찬트 재료를 포함한 다양한 에치 화학 물질을 사용하며, 드라이 에칭, 습식 에칭 및 조합 습식/건식 에치 공정에 구성 할 수 있습니다. 여러 etch 프로세스에 대한 etcher 의 구성성 때문에 8500P 는 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 다양한 기판에서 뛰어난 폭발 에칭 (etching) 을 가능하게하며, 뛰어난 기능의 깨끗함과 중요한 종횡비 제어를 달성합니다. 또한, etcher의 높은 처리량, 프로세스 모니터링, 선택 가능한 균일성 제어 (Uniformity Control) 기능을 통해 초고정밀도 에칭 작업에서 탁월한 성능을 발휘할 수 있습니다. TEL TE 8500 P etcher는 진공 프로세스 제어 및 복구 시스템 인 TEL FlexPump와도 호환됩니다. 이를 통해 에칭 (etching) 프로세스의 프로세스 제어 및 효율성을 높일 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE-8500 P etcher의 다양성과 신뢰성은 다양한 에칭 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 다중 에치 (multiple etch) 프로세스, 높은 처리량, 선택 가능한 균일성 제어 및 프로세스 모니터링이 결합하여 특히 높은 종횡비 기능에 대한 뛰어난 정밀 에칭 작업을 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON FlexPump 와의 호환성은 높은 수준의 프로세스 제어 및 효율성을 제공합니다. 또한 탁월한 프로세스 제어를 통해 다양한 에칭 (etching) 애플리케이션을 위한 안정적이고 경제적인 선택이 가능합니다.