판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293643484

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P etcher/asher는 단일 플랫폼에서 에칭, 애싱 및 청소 기능을 결합한 최첨단 반도체 장치 처리 장비입니다. 고급 기능으로 반도체 장치 제조에 적합합니다. 컴퓨터는 PC에서 직접 작동할 수 있으므로 설치 시간 (minimum setup time) 을 최소화하면서 신속하게 작업을 만들고 작업할 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 알고리즘은 안정적이고 고품질의 프로세스를 유지하고 에칭 (Etching) 프로세스와 애싱 (Ashing) 프로세스 사이를 쉽게 전환하는 데 도움이 됩니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 습식 에칭 및 드라이 에칭, 애싱 및 청소 기능 등 다양한 프로세스 옵션이 있습니다. 또한 고속 디지털 서보 제어 장치 (digital servo-control unit) 를 통해 사용자는 에칭 및 애싱 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 램프 컨트롤러, PID 컨트롤러, 기타 프로세스 최적화 알고리즘과 같은 다양한 디지털 제어 (digital control) 옵션을 지원하여 최적의 프로세스 성능을 보장합니다. TEL TE 8500 P의 고급 안전 기능에는 LDS (Leak Detection Tool) 및 프로세스에서 생성 된 오염 물질에 대한 OEL (Occupational Exposure Limit) 모니터링 자산이 포함됩니다. LDS는 미량의 가스, 증기 및 산화물 입자를 감지 할 수 있으며, OEL 모니터링 모델은 공중 입자, 금속 증기, 산화물 등을 지속적으로 모니터링하여 안전한 작동 수준을 보장합니다. 이 장비에는 프로세스 성능을 면밀히 모니터링할 수 있는 여러 모니터링 및 제어 시스템 (예: 모든 데이터 포인트와 이벤트를 저장하는 고급 이벤트 로깅 시스템 (Event Logging System), 온도 제어 장치 (Temperature Control Unit)) 이 포함되어 있습니다. (TCS) 온도와 압력에 대한 실시간 판독 값과 Gas Flow Machine 가스 압력, 유량 및 기타 데이터 포인트를 분석하는 데 사용할 수있는 (GFS). 또한 이 도구에는 특정 작동 압력을 설정하고 프로세스 조건에 따라 자동으로 조정할 수 있는 APC (Automatic Pressure Control Asset) 가 있습니다. TOKYO ELECTRON TE-8500 P는 또한 온보드 디지털 폐수 처리 모델과 다양한 폐기물 관리 옵션을 통해 환경 보호 기능을 제공합니다. 이 장비는 사용자의 에너지 소비를 줄이고, 먼지와 입자 수준을 줄이고, 친환경적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 솔루션을 제공합니다. TE 8500 P는 오늘날 가장 진보된 반도체 소자 제조 공정에서 시장에서 가장 신뢰할 수있는 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 다양한 프로세스 제어/모니터링 옵션을 통해 안전하고, 안정적이며, 효율적인 운영을 보장합니다.