판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608637

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 초고해상도 에처/애셔입니다. 사진 마스크 (photomask), IC (integrated circuit) 리소그래피, 박막 증착 등 다양한 응용 프로그램을 처리하는 데 사용될 수있는 매우 다용도 장비입니다. TEL TE 8500 P (TEL TE 8500 P) 는 장치 계층 및 기타 기능에 고성능 솔루션을 제공하면서, 균일성이 높은 여러 기판의 동시 처리를 가능하게 하는 대형 챔버 크기를 제공합니다. 디지털 제어 시스템 (Digital Control System) 은 패턴의 정밀한 정렬과 정확성을 보장하는 반면, 고급 증착 기법은 광범위한 화학 물질을 사용할 수 있습니다. 도쿄 전자 TE-8500 P (TOKYO ELECTRON TE-8500 P) 는 우수한 균일성과 함께 높은 증착 정확성과 반복성을 제공하는 고급 진공 시스템을 갖추고 있습니다. etcher의 EDR (Dry Etch Rate) 및 UN (Uniformity) 측정 가능 매개 변수는 최소 유전체 손상으로 초고해상도를 달성하도록 제어됩니다. Etcher's Controller (Etcher's Controller) 는 설치와 작동이 용이하도록 직관적인 소프트웨어를 제공하며, 특정 애플리케이션에 대한 다양한 매개변수를 사용하여 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, TE 8500P에는 기판 및 패턴을 방위각 (azimuthal) 및 방사형 (radial) 방향으로 정확하게 정렬 할 수있는 고급적이고 정교한 패턴 인식 시스템이 포함되어 있습니다. 에처의 큰 챔버 크기는 또한 여러 층의 금속, 절연체 또는 반도체의 동시 증착 및 패턴을 가능하게한다. 이렇게 하면 처리 시간이 단축되고, 동일한 필름 두께, 그레인 방향, 장치 특성이 모든 레이어에서 일관되게 유지됩니다. 또한, TE-8500 P는 FACS (Fluorinated Carriers) 를 포함한 다양한 가스와 함께 사용될 수 있으며, 식각 속도 및 균일성이 낮은 높은 높은 정밀도 증착을 달성 할 수 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 또한 생산성 향상을 통해 고속 프로세스를 제공할 수 있으며, 시간당 최대 1 백만 개의 패턴 기능을 처리하여 최적의 제품 생산량 및 저렴한 비용을 보장합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 P는 탁월한 정밀도, 정확도 및 위치 제어 기능을 제공하는 고도의 etcher/asher입니다. 이 제품은 다양한 반도체 (semiconductor) 및 장치 제작 (device fabrication) 프로세스에 적합한 플랫폼을 제공하며, 광범위한 연구/상용 애플리케이션을 위한 필수 불가결한 도구입니다.