판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608635

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P는 다양한 마이크로 패브라이션 프로세스를 위해 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 정확성, 반복성 및 신뢰성의 뛰어난 조합을 제공합니다. TEL TE 8500 P에는 4 개의 독립적 인 동작 축이 있습니다. X 축과 Y 축의 해상도는 모두 5 미크론으로, 기판 표면을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 또한 X축 (X axis) 은 기판을 한 곳에서 다른 곳으로 빠르게 전송하는 간단한 이동 기능을 제공합니다. Z축은 0.1mm - 17.5mm의 범위를 제공합니다. W 축의 범위는 ± 45 ° 이며, 기판 위치를 정확하게 조작 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE-8500 P는 또한 산소 흐름, 가스 흐름 등 다양한 프로세스 제어 옵션을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 에칭 및 어싱 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 독립적 인 이온 소스는 프로세스 전반에 걸쳐 반복되는 수동 조정이 필요하지 않으므로 정확하고 일관된 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 얻을 수 있습니다. 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 TEL TE 8500P에는 터치스크린 모니터와 PC 작업 (옵션) 이 포함되어 있습니다. 모니터는 간단한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 시스템을 손쉽게 모니터링하고 조작할 수 있습니다. PC 작업을 통해 사용자는 레시피를 저장 및 회수하고, 반복성을 위한 프로세스를 간소화하고, 통계적 프로세스 제어 (statistical process control) 측정을 실행할 수 있습니다. TEL TE-8500 P는 또한 비상 정지 버튼, 에칭/애싱 압력을위한 자동 조정, 모든 모터 드라이브에 대한 과전압 보호 기능을 갖춘 뛰어난 안전 표준을 제공합니다. 무음 및 진동이없는 작동은 사용자에게 최대의 편안함을 제공합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P는 광범위한 마이크로 패브라이션 프로세스를 수용하도록 설계된 다재다능하고 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다. 4 개의 독립적 인 동작 축, 다양한 프로세스 제어 옵션 및 직관적인 터치 스크린 모니터는 정확성, 반복성, 신뢰성을 보장합니다. 또한, 자동 작동과 결합된 안전 기능으로 인해 모든 어플리케이션에 안전하고 편안한 선택이 가능합니다.