판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293585750
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ID: 293585750
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Dry etcher, 8"
Process: Oxidized film dry
Non-SMIF Type
AC Rack
EBARA A30W Dry pump
Pump control rack
AERA FC-720AC MFC
Gas: CHF3, CF4, O2, Ar, O2, CO
Back pressure: He
Treatment chamber: (3) Gases
Chiller
Power cable
Chiller cable
Power supply: AC 200V, 50/60 Hz, 3-Phase.
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P (TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P) 는 다양한 크리티컬 마이크로 머시닝 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 모든 기능을 갖춘 프로세스 제어 (process control) 와 다양한 정교한 하드웨어/소프트웨어 옵션을 갖추고 있습니다. 특정 고객 요구 사항에 맞게 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. TEL TE 8500 P (TEL TE 8500 P) 는 에치 속도가 높고, 프로세스 제어가 단단하며, 에칭, 애싱, 스트리핑 응용 프로그램 등 다양한 프로세스 단계를 효율적으로 처리하도록 설계된 완전 통합 장치입니다. 컴퓨터에는 다양한 맞춤형 (customizable) 옵션이 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE-8500 P에는 강력한 고속 마이크로 머시닝 도구가 장착되어 있습니다. 에셋은 단일 프로세스 단계에서 가장 복잡한 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 스트리핑 (stripping) 작업을 실행할 수 있습니다. 이 모델에는 마이크로 머시닝 (micro-machined) 기능에 대한 고해상도, 실시간 이미징 및 이미징 분석을 제공하는 2 개의 독립형, 전체 기능의 Imager 채널이 장착되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P (TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P) 에는 대화형 그래픽 사용자 인터페이스도 포함되어 있어 직관적이고 강력한 기능으로 장비에 액세스하고 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 자동 레시피 저장 (automated recipe storage), 프로세스 매개변수 최적화, 실시간 프로세스 피드백을 기반으로 레시피 조정 등 다양한 프로세스 제어 기능이 있습니다. TEL TE 8500P의 하드웨어는 정밀 마이크로 머신에 적합하도록 설계되었습니다. 이 장치는 메인프레임 (Mainframe), 운영자 콘솔 (Operator Console), 전원 공급 장치 (전원 공급 장치) 등 다양한 구성요소로 구성되어 있으며, 각 구성요소는 최고의 성능과 안정성을 위해 설계되었습니다. 안전성 및 작동 정확성 향상을 위해 고속 냉각도 포함됩니다. 마지막으로, TE-8500 P는 제조업체에서 제공하는 광범위한 소프트웨어, 서비스 및 지원 제품군을 갖추고 있습니다. 이를 통해 고객은 고급 머신 기능, 새로운 개발/엔지니어링 서비스 (development and engineering services) 를 손쉽게 활용할 수 있으며, 이 툴의 운영에 대한 개성 있는 지원을 얻어, 사용자가 마이크로 머시닝 (micro-machining) 활동의 결과를 극대화할 수 있습니다.
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