판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9402436

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 반도체 장치 생산을 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 이 도구는 빠른 속도와 낮은 비용으로 매우 정확한 결과를 제공합니다. TEL TE 8500은 미세 또는 순수한 에칭 기능으로 여러 프로세스 흐름을 통합하고 0.25 m까지 작은 패턴을 고정밀 에칭할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500은 또한 강력한 박막 증착 능력을 가지고 있으며, 수소 (H2) 또는 플루오린 (F2) 에서 생성 된 저압 혈장을 갖는 박막 증착 과정을 가능하게합니다. 또한 고급 사용자 친화적 그래픽 제어 인터페이스 (Graphical Control Interface) 를 통해 프로그램 설정과 효율적인 레시피 제어를 쉽게 수행할 수 있습니다. 기계는 다른 제조 장비와 통합되어 데이터 교환과 프로세스 흐름 (process flow) 이 최적화되도록 할 수 있습니다. TE 8500에는 2 개의 공정 챔버, 2 개의 로드 락, 가스 공급 박스 및 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 적절한 접근법은 고밀도 플라즈마를 생성하는 데 사용됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500) 은 공정 성능을 최적화하는 특수 설계로, 에친트 재료의 소비가 낮고 에칭 프로세스의 환경 영향을 줄입니다. 가공실에서의 온도는 수동적으로 안정화되며, 혁신적인 음극 제어 시스템 (ACS) 은 환경의 순도를 유지합니다. ACS는 또한 주변 조건을 변경함으로써 아노 다이징 반응이 영향을 받지 않도록 방지합니다. TEL TE 8500에는 플라즈마 전력 (plasma power), 온도 (temperature), 챔버 청결 정도 (degree of chamber cleanliness) 와 같은 현장 프로세스 매개변수를 모니터링하기 위해 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 모니터를 사용하면 운영자가 적시에 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 레시피 설정을 용이하게 하며 에칭 프로세스를 효율적으로 제어합니다. TOKYO ELECTRON TE 8500은 효율적인 에칭 솔루션이 필요한 사람들에게 탁월한 선택입니다. 정밀도, 속도, 저렴한 비용, 효율적인 프로세스 제어는 반도체 소자 제조에 이상적인 선택입니다.