판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9384750

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500
ID: 9384750
Oxide etchers.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 재료를 에치하는 데 사용되는 장치입니다. 광석기 (photolithographic) 프로세스에 이상적인 에처로, 우수한 프로세스 균일성, 정확한 미세 해상도 및 빠른 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 에처는 정확하고 반복 가능한 프로세스를 보장하도록 설계된 강력한 기술로 구성됩니다. 최신 "컴퓨터화 '모니터링 및 제어 시스템을 탑재하여 프로세스 전반에 걸쳐 성능 피드백을 제공합니다. 이 장치는 2 개의 독립적 인 질량 흐름 컨트롤러, 정확한 느린 흐름 에치 (slow-flow etch) 기술 및 고급 챔버 디자인으로 인해 탁월한 성능을 제공합니다. 강력하고 직관적인 소프트웨어와 결합된 이러한 기능들은 에칭 (etching) 프로세스를 월등히 제어합니다. TEL TE 8500 은 대부분의 photolithography 시스템과의 호환성을 극대화하고 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 기존 시스템을 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 그 에 더하여, "에쳐 '는 수동적 인" 코우팅' 과 능동적 인 "코우팅 '과 모두 호환 되므로," 코우팅' 과 기판 사이 의 훌륭 한 접착 이 가능 하다. 챔버 설계는 일정한 에치 속도를 제공하여 웨이퍼 처리량을 15% 까지 증가시킵니다. 이 방에는 재순환 시스템 (recirculation system) 이 있으며, 이는 짝수 온도와 일관된 에치 속도를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 에처 (etcher) 는 업계 최고의 신뢰성 및 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 여기에는 압력, 온도, 기타 조건의 변화를 감지하기 위해 정교한 센서를 사용하는 자동 차단 시스템 (automatic shut-off system) 과 같은 향상된 안전 기능이 포함됩니다. TOKYO ELECTRON TE 8500에는 다양한 진단 및 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 온보드, 그래픽 진단 패널 및 실시간 트렌드 모니터링이 포함됩니다. 또한, TE 8500은 비용 효율적인 솔루션을 제공하며, 물 사용량을 줄이는 고급 습식 스테이션을 제공합니다. 이 장치는 또한 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 로 제작되었으며, 직관적인 제어로 인해 쉽게 작동하고 이해할 수 있습니다. 이 모든 기능을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 모든 사진 분석 프로세스에 이상적인 에처가 됩니다.
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