판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9350658
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 향상된 비용과 생산성을 제공하는 고성능 etcher/asher 장비입니다. 이 반도체 소자 생산 시스템은 모든 종류의 전자 제품을위한 복잡한 현미경 회로 (microscopic circuitry) 를 만드는 제조 공정의 필수 부분입니다. 고급 컴퓨터 시뮬레이션 및 Analytical-Chemical 기술을 결합하여 사용 된 온도, 압력 및 가스를 정확하게 제어하면서 재료의 에치 또는 "애쉬" 레이어를 결합합니다. 이 장치는 디바이스 획일성 보장, 디바이스 성능 저하 감소, 운영 다운타임 최소화 등 다양한 기능을 제공합니다. 첨단 주파수 (Advanced Reach) 주파수 전원 공급 장치는 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 시 뛰어난 반복성을 제공하여 대용량 생산에 이상적입니다. 또한, 고해상도 센서는 공정 대기를 모니터링하여 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스 동안 최적의 가스 구성을 유지합니다. 그것의 컨트롤은 또한 가스 흐름을 최소화하고 더 깨끗한 가공 대기를 위해 공수 입자를 소산합니다. 이들의 고유한 컴퓨터 알고리즘은 보다 부드러운 장치 계층화와 현실적인 에치/애쉬 (etch/ash) 결과를 위해 재료 에치/애쉬 타임을 제어함으로써 성능을 더욱 향상시킵니다. TEL 8500 시스템은 다양한 구성 가능한 etcher/asher 작업셀을 통해 특정 고객 요구에 맞게 쉽게 구성할 수 있습니다. 고객은 다양한 웨이퍼를 처리하도록 수정할 수 있는 4 ~ 16 개의 작업셀을 선택할 수 있습니다. 이 도구에는 또한 레이저 광학을 사용하여 웨이퍼 왜곡을 감지하고 자동으로 거부하는 새로운 사전 스캔 (pre-scan) 기능이 있습니다. 특허 출원 중인 무접촉 (Contactless) 센터 장치는 손상시키지 않고 빠른 웨이퍼 마운팅을 허용합니다. TEL TE 8500 자산은 또한 여러 가지 혁신 옵션과 기능을 갖춘 모듈식 (modular) 설계를 통해 높은 적응성과 유연성을 제공합니다. 다른 시스템과 동기화하여 처리량 (Throughput) 및 생산량 (Production Revield) 을 높일 수 있는 완전 통합 제조 라인을 제공할 수 있습니다. 고객은 EAS (Etcher/Asher Software) 를 사용하여 프로세스를 모니터링하고 필요에 따라 이송 속도, 온도 및 기타 매개변수를 조정할 수도 있습니다. 또한 EAS 는 주요 매개변수, 웨이퍼 매핑, PEEP 처리, zone 당 조정, 레시피 생성 기능에 대한 기록을 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 모델은 또한 최신 기술을 사용하여 고속 웨이퍼를 안전하고 정확하게 처리합니다. 자동 안전 (automated safety) 기능에는 여러 가지 fail-safe 경보, 읽기 쉬운 그래픽 디스플레이 및 심층적인 문제 해결 가이드로 기술 문제를 진단할 수 있습니다. 또한 입/출력 장치, 컨베이어, 환경 컨트롤러 (Environmental Controller) 와 같은 다양한 옵션 액세서리를 제공하여 운영 기능을 더욱 확장합니다. TE 8500은 탁월한 유연성과 성능을 제공하는 신뢰할 수 있는 고성능 etcher/asher 장비입니다.
아직 리뷰가 없습니다