판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9290495
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 고급 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 설계된 Etcher/Asher입니다. 이 장비는 장치 제작 또는 고품질 제품 유지와 같은 IC 제조 프로세스에 필수적입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼의 정확하고 정확한 에칭 (etching) 과 재싱 (ashing) 을 보장하는 다양한 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 정확한 웨이퍼 처리를 보장하기 위해 고온 Precision Quartz Tube와 고급 MMS (Magnetic Mirror Machine) 가 있습니다. 이 도구는 고급 쿼츠 튜브 디자인과 고품질 MMS 옵틱을 활용하여 빠르고 반복 가능한 에칭을 제공합니다. 이 자산은 다양한 웨이퍼 크기 (76.2mm ~ 300mm) 를 처리 할 수도 있습니다. 이것은 프로세스 유연성과 높은 처리량을 달성하는 데 이상적입니다. 또한, 이 모델에는 프로세스를 지속적으로 모니터링하여 정확한 에칭을 보장하는 LED 배출 모니터 (LED emission monitor) 가 장착되어 있습니다. 이 모니터는 프로세스 제어가 최대 40% 향상되었습니다. 또한 저온 센서 (low temperature sensor) 가 장착 된 정확한 뒷면 웨이퍼 온도 제어 장비를 갖추고 있으며, 이는 장치 웨이퍼의 고품질 처리에 필요합니다. 이 시스템은 제어판 (Control Panel) 과 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 통합되어 작동을 용이하게 합니다. 이 패널은 장치 작동을 제어하고 모니터링하는 편리하고 직관적인 방법을 제공합니다. 또한, 모든 프로세스 문제에 대한 조기 경고를 제공하는 고급 경보 시스템 (advanced alarm system) 이 제공됩니다. 또한, 이 기계는 HMDS 프리 재료 및 응용 프로그램을 사용하는 데 이상적인 특허 된 현장 청소 기술을 보유하고 있습니다. 이 도구에는 고급 리플로우 관리 (Refrow Management) 기능이 장착되어 있어 고급 품질을 위한 균일 한 웨이퍼 온도가 제공됩니다. 결론적으로 TEL TE 8500은 IC 제조 공정의 필수 에처/애셔입니다. 이 자산에는 고온 Precision Quartz Tube, 고급 MMS (Magnetic Mirror Model), LED 방출 모니터, 정확한 뒷면 웨이퍼 온도 제어 장비, 사용자 친화적 제어판 및 특허를받은 현장 청소 기술 등 다양한 기능이 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 이 시스템은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 적합한 선택이 가능합니다.
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