판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9204238

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. TEL TE 8500은 탁월한 성능과 신뢰성을 제공하는 고급 에치/애쉬 장비입니다. 높은 정밀도와 높은 생산성 어플리케이션에 모두 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 균일성, 속도, 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 이 장치에는 정확한 에칭 및 재 프로세스를 제공하기 위해 ae 13nm 고해상도 아르곤 이온 빔 소스가 장착되어 있습니다. 소스는 광범위한 에너지 스펙트럼 (energy spectra) 을 가지고 있으며 프로세스 매개변수를 잘 제어합니다. 이 기계에는 고압 화학 증기 증착 (HPCVD) 및 반응성 이온 에칭 (RIE) 기능도 포함됩니다. 따라서 처리량을 그대로 유지하면서 etch/ash 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500은 유연한 하드웨어 구성도 제공합니다. 최대 2개의 에칭/애싱 챔버, 공정 제어 장치, 모니터로 공구를 구성할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 특정 운영 요구에 맞게 자산을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 모델에는 장비와 사용자 처리 회선 간의 통신을 위한 고속 I/O 프로토콜도 포함되어 있습니다. 프로세스 제어 측면에서, 시스템은 에칭/애쉬 프로파일, 수많은 프로세스 단계, 다중 프로세스 레시피 및 경보와 같은 기능을 제공합니다. 또한 자동 웨이퍼 정렬 및 기판 추적 기능을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 통합 웹 브라우저를 통한 원격 프로세스 모니터링을 지원합니다. 안전성 측면에서, 이 도구는 CE, ESD, 보건 및 안전 규정과 같은 많은 산업 안전 표준을 준수합니다. 또한 정확한 진단 및 직접 모델 제어를 통해 쉽게 사용할 수 있고 유지 관리할 수 있습니다. 전반적으로 TE 8500 etcher/asher는 높은 성능과 정밀도를 갖춘 안정적이고 효율적인 장비입니다. 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing), 경보를 통한 자동화된 프로세스 제어, 웨이퍼 정렬 및 추적 기능, 능동적 안전 측정 기능을 제공하는 반도체 제작 응용 프로그램에 사용됩니다. 이 시스템은 커스터마이징이 가능하며, 많은 산업 시설에 이상적인 솔루션이 되기 쉽습니다 (영문).