판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9195649

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 완전 자동화 된 고출력 에칭/애셔 장비입니다. 정밀 프로세스 제어와 빠른 응답 (fast response) 을 제공하는 etcher/asher는 까다로운 고객의 엄격한 요구를 충족합니다. TEL TE 8500은 3 개의 온도 영역, 격리 밸브, 배기 포트 및 안전 및 환경 준수를위한 3 단계 열 필터가있는 챔버 바디로 구성됩니다. 챔버 (chamber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 가공되며 큰 정면 개구부를 특징으로하여 샘플의 처리량을 극대화합니다. 듀플렉스 펌프는 염소 및 플루오린 이온을 제어하는 동안 공정 감도를 제공합니다. 방에는 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 장착되어 있으며 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500은 프로그래밍 가능한 레시피 및 데이터 스토리지를 위해 터치 스크린 인터페이스를 제공합니다. 이 시스템은 효율성과 정확도가 가장 높은 반복 식각 작업을 지원합니다. 수동, Expert-Etch 및 Multi-Etch 등 여러 가지 표준 작동 모드가 있으며, 각각 다른 수준의 제어를 제공합니다. 예를 들어, 다중 에치 (Multi-Etch) 모드는 에치 시간, 온도 및 가스 구성의 변형으로 프로그래밍 될 수있는 에치 매개변수를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. TE 8500에는 상온 및 하온 센서, 오존 스크러버, 이온 클린 챔버, 원격 모니터링 장치 등 다양한 옵션 액세서리가 장착되어 있습니다. 또한, 에치 챔버 (etch chamber) 는 이중 창 뷰 포트를 특징으로하여 에칭 또는 애싱 프로세스 내부를 관찰 할 수 있습니다. 이 뷰 포트는 파장 분산 x-ray 스펙트럼에 대한 온라인 및 오프라인 분석도 지원합니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 etcher/asher는 박막 얇고 코팅, 웨이퍼 및 반도체 제조, 리소그래피 등 다양한 응용 분야에서 안정적이고 재현 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 기계는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수에 대한 정확한 제어를 제공하여 유지 보수가 거의 없거나 전혀 불가능한 반복 가능한 결과를 제공합니다.