판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9192932

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 웨이퍼 레벨 생산을위한 정확하고 정확한 에칭 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 플라즈마 에칭 장비입니다. 이 플라즈마 에처 (Plasma etcher) 는 여러 개의 챔버, 고급 프로세스 제어 및 자동화 인터페이스 (설정 및 리모콘) 및 와퍼 스테이지를 구동하는 솔리드 링 스타일 모터 (solid ring style motor) 를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 프로세스 제어를 위한 뛰어난 유연성을 제공하며, 단일 웨이퍼 및 다중 웨이퍼 처리를 모두 지원합니다. 이 모델은 우수한 열 전도성과 균일성을 제공하는 4면, 붕소 질화물 코팅 챔버가있는 선형 및 방사형 에칭 유닛을 특징으로합니다. 동력 웨이퍼 스테이지는 한 번에 최대 14 개의 웨이퍼를 균일 하게 에칭합니다. 가스 유량 (gas flow rate), 척 파워 (chuck power) 와 같은 제어 가능한 프로세스 매개변수는 실시간으로 모니터링 및 분석되어 정확한 에칭 환경과 최적의 에칭 결과를 보장합니다. 기계는 또한 조절 가능한 에치 레이트 (etch rate) 와 최대 너비 감지 (maximum width detection) 와 같은 특수 기능을 장착 할 수 있습니다. TEL TE 8500은 사용자에게 습식, 건조, 알킬, 라디칼, 플루오린, 염소 및 붕소를 포함한 다양한 에칭 옵션을 제공합니다. 압력, 온도, 종 농도, 가스 유량, 에치 레이트와 같은 공정 내성 (process exigency) 을 조정하여 최상의 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 온도 조절 기판 척을 사용하여 웨이퍼가 과열되지 않도록 합니다. 최신 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON TE 8500은 최고의 에칭 정확도와 반복 기능을 제공합니다. 수동 프로세스 설정을 저장하고 리콜 (Recall) 하여 설치 프로세스를 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한, 자산은 최신 업계 규정 및 안전 지침을 준수하도록 설계되었습니다. TE 8500은 웨이퍼 레벨 생산을위한 강력한 플라즈마 에칭 도구입니다. 고급 기능은 우수한 에칭 결과, 균일성 및 정확한 프로세스 제어를 보장합니다. 온도 조절, 종 농도, 가스 흐름 속도, 웨이퍼 스테이지 모션 컨트롤 (wafer stage motion control) 과 같은 최첨단 기능을 사용하면 대용량 생산 지향 응용 분야에 이상적인 에칭 솔루션입니다.