판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9144928

텔/도쿄 전자 TE 8500 (TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500) 은 플라즈마 및 화학 에칭 공정을 사용하여 반도체 웨이퍼 표면에서 재료를 에치 및 제거하여 매우 미세한 세부 사항을 가진 매우 작은 구조를 만드는 고급 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 표면 품질 (Wafer Surface Quality) 과 최대 작동 효율 (Operating Efficiency) 에 미치는 영향을 최소화하면서 고정밀 에칭 프로세스를 가능하게 합니다. TEL TE 8500은 다양한 가스 조성을 사용하여 웨이퍼에 다른 재료를 에치하는 단일 소스 VMR (variable-mass reactant) 장치로 구동됩니다. 그것 은 높은 온도 와 낮은 온도 에서 작용 할 수 있으며, 민감 한 물질 과 얇은 기판 의 "에칭 '과 큰 처리량 으로 넓은 폭 의" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있다. 이 기계는 또한 완벽한 정렬 및 정확한 에칭 프로세스를 보장하기 위해 고급 기판 장착 (substrate-mounting) 기술을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (TOKYO TE 8500) 은 프로세스 매개변수를 정확하고 지속적으로 측정하기 위해 잠재적 센서로 무장하고, 웨이퍼 방향 조정 도구는 정확한 에치 처리를 위해 필요한 정확한 위치에 웨이퍼를 유지합니다. 이 자산에는 오염 수준이 낮고 반복성이 최대인 고속 에칭 (eching) 프로세스를위한 고급 통합 반응 챔버 (integrated reaction chamber) 도 제공됩니다. TE 8500은 강력한 PLC에 의해 제어되어 프로세스를 완벽하게 자동화합니다. 또한, 모델의 고장 가능성을 감지할 수 있는 통합 툴 관리 소프트웨어 모듈이 있습니다. 프로세스의 효율성을 극대화하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500에는 고급 데이터 처리 모듈이 장착되어 있습니다. 전반적으로, TEL TE 8500은 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 장비로, 최대 속도로 최고의 표면 품질을 가진 가장 작은 구조에서 정확한 에칭 프로세스를 제공합니다. 최고 수준의 운영 효율성과 신뢰성을 보장하여 모든 반도체 (semiconductor) 구성 라인에 적합한 솔루션이 됩니다.