판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9092956
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 상징적 인 TEL 회사에서 개발하는 고급 에처/애셔입니다. 이 첨단 장비는 연구개발 (R&D) 실험실과 생산라인에 사용하기에 적합하며, 일관된 결과를 보장하기 위해 정밀 표준으로 제작되었습니다. 섭씨 0도에서 200도 사이의 온도에 대해 온도 조절을 통해 기판 크기를 최대 9.4 인치 x 7 인치 (238 x 177mm) 까지 제공합니다. 4 개의 통합 처리 실이 있습니다. 2 개의 독립적으로 온도 조절 에치/애쉬 챔버, 1 개의 건조 및 1 개의 습식. 14 인치 웨이퍼 로더 (옵션) 가 장착되어 대형 제품에 적합합니다. 또한 자동 기판 재료 공급을위한 화학 분포 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 사용자 작업을 간소화하는 온보드 자동화 (On-Board Automation) 기능, 프로그래밍 가능한 옵션, 자동 플레이트 인식 기능, 간편한 데이터 입력을 위한 직관적인 운영 콘솔 (Operation Console) 등이 있습니다. TEL TE 8500은 etch 및 ash 챔버 매개변수를 실시간으로 제어하는 여러 처리 단계를 실행할 수 있습니다. 운영 실행에 대한 반복 가능한 결과를 보장하는 광범위한 프로세스 레시피 (process recipe) 를 지원합니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (TOKYO ELECTRON TE 8500) 은 센서 보호 작동 모드 및 비상 셧다운 머신과 같은 안전 기능이 내장 된 최고 안전 표준을 충족하도록 제작되었습니다. 또한, 내장 입자 필터 및 오존 제거 도구 (ozone removal tool) 는 대기가 사용자와 환경에 안전하도록 보장합니다. TE 8500은 R&D 실험실 및 생산 라인에 사용하기에 적합한 안정적이고 기능이 풍부한 etcher/asher입니다. 일관된 결과를 제공하고, 안전을 위해 설계되었으며, 장기간 보증이 제공됩니다. 따라서 안정적이고 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 를 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다.
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