판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9068919

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 고정밀 재료 제거를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 금속, 산화물, 질화물, III-V 재료 등 기질에서 박막을 제거하는 데 사용되며, 정밀도와 정확도가 높습니다. 이것은 매우 정밀한 머시닝 기능을 통해 달성되며, 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 와 에칭 컴포넌트의 동작을 이해하는 닫힌 루프 (closed-loop) 장비를 기반으로 프로세스 제어를 수행합니다. TEL TE 8500 (TEL TE 8500) 은 또한 각 재료 유형에 대해 광범위한 에치 레시피를 사용하여 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 시스템 외부에서 오염 수준을 줄이기 위해 에어샤워 (air shower) 가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500에는 완전 자동 공급, 로드 및 언로드 기능이 포함되어 있습니다. 고도로 향상된 이 기능을 통해, 이 장치는 운영자가 관여하지 않고도 로드/언로드를 최적화할 수 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 이중 소스 질량 흐름 컨트롤러로 구성되며, 미세 및 거친 제어 모두에 대한 에치 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 이는 최소한의 유지 보수를 통해 뛰어난 정확성과 장기적인 안정성을 제공합니다. 이 기계에는 레시피 제어 및 데이터 관리를 지원하는 고급 레시피 매니저 (Advanced Recipe Manager) 도 포함되어 있습니다. 또한, TE 8500은 고급 연동 네트워크 및 노즐 진공 자산을 갖춘 유연한 진공 도구를 제공합니다. 이렇게 하면 사용 중인 에치 (etch) 프로세스에 따라 압력 (pressure) 과 유량 (flow rate) 을 조정할 수 있습니다. 인터 록 (Interlock) 네트워크는 예기치 않은 이벤트가 발생하면 시스템을 종료하는 안전 (Safety) 모델로 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 매우 정확하고 효율적인 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 장비가 다수의 에칭 프로세스를 처리 할 수있는 많은 기능을 제공합니다. 이 시스템은 필요한 모든 안전 시스템 (Safety System) 을 갖추고 있으며, 운영 애플리케이션에 이상적인 고급 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 내구성이 있고 안정적이며, 정밀 에칭 (eching) 프로세스에 완벽한 선택이 가능합니다.