판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9059245

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 대규모 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 처리량과 정확도가 높은 웨이퍼 (wafer) 및 개별 다이 (die) 크기 모두에서 샘플을 에칭 또는 애싱 할 수 있습니다. 이 시스템은 고효율 챔버 난방 장치 (chamber heating unit) 와 함께 고급 기판 홀더 (substrate holder) 설계를 통합하여 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 온도 제어를 가능하게 합니다. 이 기계는 다양한 에친트 화학 물질 (echant chemistry) 과 표면 활성화 및 청소를 개선하기 위해 특별히 설계된 플라즈마를 지원합니다. TEL TE 8500에는 고해상도, 레이저 간섭 기반 웨이퍼 프로파일링 도구가 제공되어 나노 미터 스케일에서 패턴 제어가 가능합니다. 주 챔버 (main chamber) 는 최소 웨이퍼 평면도 및 입자 결함으로 최대 200mm 웨이퍼에서 우수한 식각 균일성을 허용합니다. 이 도구 의 자동화 된 "웨이퍼 '공급 은 깨끗 한" 데슘' 설정 과 고급 배기 장치 와 더불어 "에치 '제품 의 오염 을 방지 한다. TOKYO ELECTRON TE 8500은 또한 에칭 프로세스에 대한 정확한 모니터링을 제공하며, 비행 시간 질량 분석법 및 이온 플럭스 게이지 (ion flux gage) 와 같은 통합 된 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 원형과 생산 제조 모두를 지원하는 진정한 다재다능한 에칭 에셋 (etching asset) 입니다.