판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9052719

ID: 9052719
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Etcher, 8" Main AC Rack Parts box 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 고급 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 만들도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다. 이 장비는 다양한 유형의 기판에서 고품질 패턴을 정확하게 에칭 할 수 있습니다. SOI, MOSFET 및 BiCMOS 기술과 같은 반도체 응용 프로그램을 지원하도록 특별히 설계되었습니다. TEL TE 8500에는 고급 컴퓨터 제어 시스템이 장착되어 있으며, 대형 4 인치 웨이퍼에서 소형 8 인치 웨이퍼로 정밀 에칭이 가능합니다. 고급 크로스필드 이미징 (cross-field imaging) 을 통해 수심 정확도가 뛰어난 매우 정밀한 에치 패턴을 만들 수 있습니다. 에칭 메커니즘은 헬륨 기반 기술을 사용하며, 이는 최소 두께 변화로 높은 에치 속도를 가능하게합니다. 헬륨 에칭 기능 외에도 TOKYO ELECTRON TE 8500에는 고급 드라이 에칭 챔버가 있습니다. 이 방은 복잡한 패턴을 가져올 수 있으며 아르곤, 염소, 브로민, 플루오린과 같은 다양한 에칭 가스를 제공합니다. 에칭 메커니즘에는 특별한 쿼츠 에치 챔버 (quartz etch chamber) 가 장착되어 있어 도전적인 기판에서 고해상도 패턴을 만드는 데 적합합니다. 또한, TE 8500에는 사용자 정의 에칭 레시피를 만들 수있는 온보드 레시피 편집기가 있습니다. 이 기능은 특히 복잡한 에치 (etching) 작업을 생성하고, 특정 프로젝트 요구 사항에 맞게 에칭 프로세스를 사용자 정의하는 데 유용합니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 고급 안전 및 환경 기능을 제공합니다. 이 기계에는 사용자, 제어 도구 및 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호하는 여러 개의 내장 안전 (내장) 연동이 있습니다. 에셋은 또한 유해한 입자를 직장으로 방출하지 못하는 위험한 에칭 (etching) 과정을 제거하는 통합 공기 스크러버 모델을 포함합니다. 결론적으로 TEL TE 8500은 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다. 이 장비는 고급 에칭 기술, 다중 에칭 기술, 특수 안전 및 환경 기능을 갖춘 탁월한 정밀 에칭 기능을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다