판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293811575

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 기판 물질을 빠르고 정확하게 에치 및 재하도록 설계된 고정밀, 전체 기능 에처/애셔입니다. 이 기계는 통합 정전기 척 지원, 고급 프로세스 제어 기능, 높은 정확도의 플라즈마 소스, 강력한 에칭/애싱 프로세스 등 인상적인 기능을 갖추고 있습니다. TEL TE 8500 정전기 척 (ESC) 은 처리 중 기판을 확보하기 위해 정확하고 조절 가능한 정확한 진공 보류를 제공합니다. Esc는 또한 기판 청결성을 보장하기 위해 mmHg-air-proof이며, ESC와 기판 재료의 호환성이 정확하게 설정되어 있습니다. 더우기, 청결 을 유지 하고 공기 와 방출 의 방해 를 감소 시키기 위해 "에스씨 '를 뚜껑질 로 덮을 수 있다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (TOKYO ELECTRON TE 8500) 의 고급 프로세스 제어 기능을 통해 기계는 모든 유형의 재료에서 최적화된 성능을 위해 에치 및 애쉬 설정을 정확하게 조절 할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 기반 제어 시스템 및 매개 변수를 사용하여, 이 etcher/asher는 최적의 etch/ash 결과를 위해 설정을 쉽고 빠르게 조정할 수 있습니다. 포함된 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 은 모든 프로세스를 모니터링하고 기록하며, 필요에 따라 운영자가 데이터를 신속하게 액세스할 수 있도록 합니다. 또한 TE 8500에는 정확한 에치 (etch) 및 재 설정 및 결과를 얻기 위해 높은 정확도의 플라즈마 소스가 포함되어 있습니다. "플라즈마 '원 은 통합 자기" 코일' 과 함께 사용 되어 "플라즈마 '의" 이온화' 와 "에치 '와 재 의 설정 을 이루는 데 어떻게 사용 되는지를 매우 정확 하게 제어 할 수 있다. 또한, 제한 셧오프는 플라즈마 필드 모양을 보존하면서 우발적 반응성으로부터 보호합니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 효율적이고 정밀한 결과를 제공하는 강력한 에칭/애싱 프로세스를 제공합니다. 내장 전기 제어 시스템은 에치 (etch) 와 애쉬 (ash) 작동 모두에 반복 가능한 성능을 제공하며, 플라즈마 필드의 뛰어난 균일성은 에치/애쉬 (etch/ash) 정확성을 보장합니다. TEL TE 8500은 또한 많은 유형의 에치 및 애쉬 재료에 대한 특수 에칭/애싱 절차를 제공합니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON TE 8500은 정확하고 효율적인 에칭/애싱 기능을 제공하는 고급 기능의 에처/애셔입니다. 통합 정전기 척 지원, 고급 프로세스 제어 기능, 높은 정확도 플라즈마 소스 및 강력한 에칭/애싱 프로세스 (etching/ashing process) 를 갖춘 이 머신은 탁월한 에치 및 재 결과를 달성하기에 이상적인 선택입니다.