판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293764225

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 반도체 및 관련 산업을위한 정확한 에칭, 증착 및 도핑 프로세스를 가능하게하도록 설계된 정교한 에처/애셔입니다. 이 장비는 안정적이고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공하는 강력한 DE 플랫폼 (Directed Energy) 을 기반으로합니다. 높은 수준의 장비 안정성, 프로세스 제어 및 수율을 제공합니다. TEL TE 8500은 효율성과 유연성을 고려하여 설계되었습니다. 다중 도구 설계를 통해 다양한 구성에서 높은 처리량과 극한의 정확성을 얻을 수 있습니다. 멀티 갈바 노미터 디자인은 정밀 에칭 또는 애싱 응용 분야에 필수적인 개선 된 빔 처짐 정확도 (beam deflection accuracy) 를 제공합니다. 고급 자동 기판 (automated substrate) 포지셔닝 시스템을 사용하면 가장 복잡한 장치 컨투어까지 정확하게 연결할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (TOKYO ELECTRON TE 8500) 에는 프로세스 결함을 감지하고 정확하게 진단하는 데 도움이 되는 실시간 프로세스 모니터링 장치가 장착되어 있어 결함이 없어지고 생산량이 향상됩니다. 웹 기반 소프트웨어 시스템은 언제 어디서나 주요 프로세스 정보에 액세스할 수 있습니다. TE 8500은 광범위한 어플리케이션을 제공하도록 설계되었습니다. 예를 들어, MEMS, 반도체, 광전자 및 나노 기술 구조의 에칭 또는 재싱에 사용할 수 있습니다. 또한 TSV (실리콘 비아를 통해) 구조를 에칭하거나 3D 구조를 ashing하는 데 사용할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 어플리케이션 전체에서 안정성과 반복성을 제공합니다. 고급 프로세스 제어 알고리즘, 단단한 프로세스 매개변수, 빠른 램프 (ramping) 를 통해 프로세스 일관성을 유지하고 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다. 습식 및 습식 후의 빠른 기능을 통해 프로세스 안정성을 향상시킬 수 있습니다. TEL TE 8500은 사용이 간편하며 신속하게 설치 및 운영할 수 있습니다. 직관적인 터치 스크린 사용자 인터페이스는 쉽게 이해하고 사용할 수 있습니다. 강력한 Process Wizard를 사용하면 프로세스를 쉽게 설정, 사용자 정의 및 최적화할 수 있습니다. 이 도구는 또한 전자 인터 록 (interlock), 비상 정지 (emergency stop) 버튼 등과 같은 운영자의 안전을 보장하기 위해 몇 가지 안전 기능을 제공합니다. 요약하자면, TOKYO ELECTRON TE 8500은 수많은 어플리케이션에서 높은 처리량 및 정밀 프로세스 결과를 얻을 수 있도록 설계된 정교한 사용자 친화적 인 etcher/asher입니다. 고급 프로세스 제어/모니터링 (process control and monitoring) 기능은 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 보장하며 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용 편의성을 보장합니다.