판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758444

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 전자 장치 제작 및 AIXTRON 생산에 사용하도록 설계된 고성능 에처/애셔입니다. TEL TE 8500은 기판의 에칭/애싱을 위해 화학 증기 증착 (CVD) 프로세스를 사용하며, 탁월한 정확성과 반복성을 갖춘 강력하고 안정적인 기능을 만듭니다. 이 모델은 공기와 질소 냉각을 모두 지원하는 효율적인 열 전달 시스템 (efficient thermal transfer system) 과 공정 시간을 줄이기 위해 설계된 기판 홀더 (substrate holder) 를 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (TOKYO ELECTRON TE 8500) 에는 자동 기판 처리 시스템과 다양한 온도 및 흐름 센서가 장착되어 있어 우수한 온도 및 가스 제어를 제공하면서 에칭/애싱 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, TE 8500 은 온보드 컴퓨터 시스템을 통해 쉽게 구성하여 프로세스를 효율적으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 내부는 최고 수준의 정밀도 및 제어를 제공하는 PLC (Programmable Logic Controller) 입니다. 이 PLC 는 기판 홀더, 프로세스 챔버 (process chamber), 챔버 (chamber), 챔버 (chamber) 구성 요소 등 다양한 구성 요소와 상호 작용하여 사용자가 에칭/어싱 프로세스를 정확한 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 이를 통해 자동 기판 회전 및 챔버 온도 제어 (chamber temperature control) 와 같은 기능을 사용할 수 있으며, 에칭/애싱 프로세스를 최대한 제어할 수 있습니다. TEL TE 8500은 직관적인 터치 스크린 인터페이스를 통해 사용자에게 친숙한 환경을 제공합니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 프로세스 레시피 (recipe) 를 빠르게 선택하고 읽기 쉬운 형식으로 런타임 통계 (Run Time Stats) 를 볼 수 있으며 검토를 위해 상세한 프로세스 데이터를 액세스할 수 있습니다. 또한, 모델에는 전체 에칭/애싱 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 성능을 제공하는 자동 챔버 클리닝 (automatic chamber cleaning) 기능이 장착되어 있습니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON TE 8500은 전자 장치 제작 및 AIXTRON 생산에 사용하도록 설계된 강력하고 유연한 etcher/asher입니다. 이 모델은 뛰어난 반복성, 정확성, 향상된 열 전달 시스템, 사용자 정의 가능한 기판 처리, 프로세스 레시피를 쉽게 선택하고 모니터링하는 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 를 제공합니다. PLC 기반 제어를 통해, TE 8500은 에칭/애싱 프로세스에 대한 최고의 정밀도와 제어를 제공합니다.