판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758442

TEL의 TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 최첨단 에처/애셔 도구입니다. 매우 정밀하게, 심지어 웨이퍼 (wafer) 표면에서 다양한 프로세스를 생산할 수 있도록 설계된 자동화된 장비입니다. 이를 통해 고급 광자 및 MEMS 제조에 적합합니다. TEL TE 8500은 프로세스 개발을 위해 완전히 통합 된 환경을 사용하여 4 개의 향상된 기판 부착을 제공하며, 결과적으로 향상된 오버레이 반복성 및 멀티 스텝 처리를 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 표준 애플리케이션에서 대규모 어플리케이션에 이르기까지 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 고급 로드 잠금 시스템을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500은 스텔스-테크놀로지 (Stealth-Technology) 와 같은 기술을 통합하여 로우 프로파일 로봇을 제공하고 기판 로딩을 위한 오류 속도를 최소화합니다. 또한 높은 저온 웨이퍼 전송 (High Low Temperature Wafer Transfer) 과 매우 정밀한 온도 제어를 통합하여 안정적인 에칭을 제공합니다. 이 도구는 매우 정밀한 펄스 에치 시간을 최대 10 유로의 정밀도로 관리 할 수 있습니다. 이 도구는 밀도 피드백 제어에 따라 지속적인 etch 개선 주기를 제공합니다. TE 8500은 매우 정확한 연속 챔버 클린 (continuous chamber clean) 성능을 제공하며, 관성 모듈이 장착되어 있으며, 스크러버 및 데가 기능도 제공합니다. 다양한 응용프로그램에 대한 웨이퍼 맵을 식별하는 3 차원 기능과 중복된 웨이퍼 위치 탐지 (Wafer Position Detection) 및 처리 장치 (Handling Unit) 가 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500) 은 독점 가스 추상화 머신과 레시피 편집 및 실행을 허용하는 일련의 사용자 인터페이스를 사용하여 뛰어난 반복성과 안정성을 제공합니다. 통합 및 이온 빔 (ion beam) 기술을 위한 특정 하드웨어가 장착 된 TEL TE 8500은 나노미터 수준에서 넓은 프로세스 창과 높은 정밀 해상도를 제공합니다. 이 특수 에처/애셔 (etcher/asher) 도구는 반도체 제조와 관련된 광범위한 복잡한 프로세스를 생산하기 위한 탁월한 선택입니다. 이는 매우 정확하고, 다양한 제조 응용프로그램에 대한 반복성과 안정성을 제공하며, 표준 (Standard) 과 대규모 프로젝트를 처리할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 의 고정밀 자동화 기술을 활용하면 가장 까다로운 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.