판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758438

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 고급 에칭 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 에처는 대형 웨이퍼 생산을위한 높은 처리량을 갖춘 소형 장치입니다. 최대 6 인치 직경의 다양한 웨이퍼를 수용 할 수있는 진공실로 구성되어 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 높은 생산성과 뛰어난 에칭 성능에 최적화된 고급 가스 전달 및 에칭 장비가 포함되어 있습니다. 고급 진공 시스템은 작동 가능한 압력 범위 (0.01-10-4 mbar) 로 우수한 진공 성능을 보장하며, 주입 가능한 가스는 환경 공기에서 SF6과 같은 가공 화학으로 변경 될 수 있습니다. TEL TE 8500은 안정적이고 견고한 설계로, 다양한 기판을 에칭할 때 고성능, 반복성을 보장합니다. 이 에처 (etcher) 에 존재하는 고출력 증착 장치 (high power deposition unit) 는 에칭 프로세스의 품질이 장기간 유지되도록 합니다. 또한, 기계 에는 "에치 '를 유지 하고 깨끗 하게 유지 하는 데 도움 이 되는 자동 청소 도구 가 있다. 이 에처 (etcher) 는 모든 이상을 감지하고 운영자에게 반드시 조정해야 할 사항에 대해 알릴 수있는 자체 진단 (self-diagnosis) 모델이 내장되어 있습니다. 또한, 에처 (etcher) 는 최적화 된 에칭 결과를 위해 약실에 주입 된 압력, 온도 및 가스 양을 자동으로 제어 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 신뢰성이 높으며, 효율적이고 제어된 에칭 (etching) 프로세스를 지원하는 레이저 통합 기능을 제공합니다. 또한, 시스템 컨트롤러는 사용이 간편한 인터페이스를 통해 운영자가 에칭 (etching) 프로세스를 손쉽게 제어하고 실시간으로 모니터링할 수 있도록 합니다. 또한, Etcher 는 향후 참조를 위해 프로세스 데이터를 저장할 수 있도록 데이터 로깅 (data-logging) 장치를 제공합니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON TE 8500 (TOKYO ELECTRON TE 8500) 은 대규모 웨이퍼 생산과 우수한 프로세스 제어를 위해 높은 처리량을 제공 할 수있는 고급 에처입니다. 안정적인 설계, 고급 가스 전달 기계, 내장 자체 진단 도구, 레이저 통합 기능을 통해 에칭 프로세스가 안전하고 효율적입니다. 이 자산은 또한 데이터 로깅 모델 (data-logging model) 을 통해 정확한 프로세스 제어 및 향후 참조를 위한 데이터 저장 기능을 제공합니다.