판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293657837

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 주로 전자 장치 제조에 사용되는 에처/애셔입니다. 에칭, 애싱, 드라이 에칭, 포토 esist 제거 및 기타 고도로 전문화 된 작업을 결합한 고급 다기능 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기능을 하나의 장치로 통합하는 다양한 컴포넌트 (component) 로 구성됩니다. TEL TE 8500에서 가장 중요한 구성 요소는 가스 흐름 컨트롤러, RF 전원 공급 장치 모듈, 원격 인터페이스 등입니다. 이러한 구성 요소는 모두 함께 작동하여 신뢰할 수 있는 에칭 및 클리닝 프로세스를 제공합니다. "가스 '유동" 컨트롤러' 는 여러 가지 "가스 '가 약실 로 흐르는 것 을 조절 하는 데 사용 된다. RF 전원 공급 장치는 플라즈마 형성에 사용되는 전원을 제공하는 데 사용됩니다. 또한 원격 인터페이스 (remote interface) 를 사용하여 etch 프로세스의 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8500은 또한 자동 가스 조절 장치를 보유하여 일관되고 신뢰할 수있는 에치 프로세스를 보장합니다. 이것 은 안정 "플라즈마 '를 만드는 데 사용 되는 비활성" 가스' (예: "아르곤 '," 헬륨' 또는 "크립톤 ') 의 흐름 을 조절 하는 데 사용 될 수 있다. 또한, RF 전력 및 가스 유량을 자동으로 제어하도록 기계를 프로그래밍 할 수 있습니다. TE 8500의 또 다른 중요한 기능은 Open Loop Process Control입니다. 이를 통해 도구는 eth 및 ashing 동안 가스 흐름 및 기타 매개변수를 동적으로 조정하여 정확하고 신뢰할 수있는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 허용합니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 고급 진단 및 온도 조절 시스템도 사용합니다. 자산의 과열 (overheating) 을 자동으로 감지하고 방지하여 일관되고 안정적인 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 호환성이 높으며 단일 웨이퍼 도구, 배치 프로세스 장비, 벤치탑 유형 시스템 등 다양한 유형의 웨이퍼 처리 장비와 통합될 수 있습니다. 이를 통해 광범위한 산업, 학업, 연구 환경에 이상적인 선택이 됩니다. 전반적으로 TEL TE 8500은 안정적이고, 정확하며, 반복 가능한 에치 및 애싱 성능을 제공하는 정교한 etcher/asher입니다. 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있으며, 고급 (advanced) 기능은 안정적이고 일관된 에치 (etch) 프로세스를 제공합니다.