판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293608639

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500은 산업 응용 분야를위한 고급 에처/애셔입니다. 고급 OLS (Open-Loop Equipment) 는 뛰어난 에칭 성능을 제공하며 다중 레벨 메사, 게이트 구조, 커패시터 및 기타 중요한 구성 요소를 만드는 데 사용됩니다. OLS로서, 실시간 에칭 모니터링 및 자동 프로세스 최적화 기능을 갖춘 정교한 프로세스 제어를 통해 안정된 에칭 (etching) 조건을 자동으로 유지합니다. TEL TE 8500은 공압 작동 활성 셔터 시스템을 사용하여 소스 플라즈마 및 운영 환경을 분리합니다. 교차 오염을 효과적으로 최소화하고 에칭 선택성과 반복 성을 높입니다. 고급 HF (High-Frequency) 소스 플라즈마 생성기는 뛰어난 제어성과 유연성을 제공하여 작은 기능 및/또는 MEMS 구성 요소의 미세 조정 및 균일 한 에칭을 허용합니다. TOKYO ELECTRON TE 8500은 또한 멀티 가스 도입으로 확장 가능한 공정 챔버를 제공하여 SF-, CF-, Ar, O-, CO-, He, CHF-, NF-, R-및 기타 가스로 플라즈마 에칭을 가능하게합니다. 자동 레시피 제어 장치 (Automatic Recipe Control Unit) 를 사용하여 사용자 개입 없이 반복 가능하고, 안정적이며, 안전한 에칭 (etching) 을 가능하게 하며, 즉석에서 변경할 수 있도록 실시간 편집 머신이 사용됩니다. 안전성 측면에서, TE 8500은 관련 국제 표준을 준수하며, 높은 진공 차단, 열 차단, 과전류 보호 등 내장 보호 메커니즘을 자랑합니다. 또한 다양한 액세서리 및 로더/언로더 (옵션) 도구를 통해 편리함과 사용자 관리 기능이 향상됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500) 은 다양한 업종의 고급 패턴 및 MEMS 구성 요소의 정밀 에칭에 이상적인 선택으로, 오늘날 시장에서 다른 에처 및 애셔보다 더 큰 정확성, 반복 가능성 및 유연성을 제공합니다.