판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9293867

TEL TE 8500 (S) ATC 에처는 패턴 전송 및 패턴 정의에 사용되는 마이크로 구성 장비입니다. TE 8500 시리즈는 다양한 반도체 기술 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 기기입니다. 이 시스템은 온도가 매우 낮고, 기능 절감 기능이 뛰어나 TCO (총소유비용) 가 적습니다. 산화 및 평면 화 기능을 통해 고객은 microscale 및 nanoscale 기능을 보다 정확하고 안정적으로 정의 할 수 있습니다. TE 8500 에처에는 에칭 및 재료 제거 매개변수를 자동으로 최적화하는 ATC (Advanced Automatic Tuning Controller) 가 있습니다. 또한 화학적 변조 과정 (chemical modulated process) 과 같은 다양한 작동 모드를 제공하며, 이는 표면 거칠기를 정제하는 데 사용될 수 있습니다. TE 8500 제어 소프트웨어는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 와 통합 진단 (Integrated Diagnostics) 을 통해 설계되어 장치의 튜닝 및 작동을 단순화합니다. 기계는 에칭 된 웨이퍼 표면에 대한 시간과 에너지 이력을 생성합니다. TE 8500 정밀 로드 잠금 장치 (precision load lock) 는 처리 중인 웨이퍼에 대해 깨끗하고 오염되지 않은 환경을 제공하며 웨이퍼 엣지와 웨이퍼 (wafer) 처리 챔버 사이에 원활한 전송을 제공합니다. TE 8500 etcher의 고유 한 안전 기능은 내장 이온 소스 청소 기능입니다. 이것 은 "에칭 '화학 물질 과 증착" 라인' 이 안전 하고 입자 오염 으로부터 벗어나 더 좋고 더 신뢰 할 만한 식각 과정 을 수행 하도록 돕는다. TE 8500은 1.2M, 2M 및 3M 플랫폼으로 제공됩니다. 모든 플랫폼에는 자동 웨이퍼 감지 및 정렬을위한 통합 Cognex 비전 시스템이 있습니다. 2M 및 3M 플랫폼에는 중요 치수를 측정하는 기능도 있습니다. 전반적으로 TE 8500 (S) ATC 에처는 마이크로 패브라이션 및 반도체 기술에 이상적인 선택입니다. 컴팩트한 크기, 낮은 소유 비용 (low of ownership), 고급 (advanced) 기능을 통해 운영 프로세스를 최적화하려는 고객에게 탁월한 선택입니다.