판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148198

TEL TE 8500 (S) ATC는 반도체 제조에 사용되는 고도의 에처/애셔입니다. 광범위한 애플리케이션을 위한 프로세스를 처리하도록 설계된 차세대, 고성능, 고성능 etcher/asher 입니다. 이 장비는 NPS (Neutral Particle Semiconductor Processing Module) 와 MET (High-electron Multi-Trap) 하위 시스템의 조합을 사용하여 낮은 에치 속도, 균일성 및 식각 기능의 우수한 품질을 제공합니다. NPS 장치는 회전하는 OEC (Optical Emission Cell) 와 질량 분석기 (Mass Analyzer) 로 구성되며, 에칭 또는 재싱을 위해 프로세스 가스의 입자를 포착 및 분석합니다. 이 기계 는 여러 가지 "가스 '를 사용 하여" 에칭' 과 "애싱 '과정 을 정확 히 제어 하고 조절 할 수 있다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC는 또한 높은 정확도의 자기장 기반 etch-stop 메커니즘을 포함하며, 이 도구를 결정적이고 신뢰할 수있는 방식으로 작동 할 수 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 낮은 반응성 처리 가스로 효율적으로 작동하여 에치 속도 (etch rate) 와 균일 성 (unifority) 을 더 잘 제어 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 매우 큰 기판을 지원하므로 대규모 생산 프로세스에 이상적입니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC는 진공에서 고온까지 다양한 기판 온도를 지원하므로 다양한 프로세스에 적합합니다. 이 모델에는 사용자 친화적 인 GUI, 사전 프로그래밍 된 최첨단 도구 시퀀스, 오류 처리, 고급 레시피 관리, 소프트웨어 디버깅 기능 등 다양한 종과 휘파람이 장착되어 있습니다. 또한 디지털화된 대형 디스플레이 패널 (Display Panel) 과 고객별 요구 사항과 프로세스를 충족하도록 설계된 맞춤형 프로세스 데이터베이스 (Customizable Process Database) 를 갖춘 강력한 제어 플랫폼을 갖추고 있습니다. 또한, TEL TE 8500 (S) ATC는 성능 신뢰성과 서비스 성을 고려하여 설계되었으며, 여러 개의 챔버, 프로그래밍 가능한 가스, 챔버 온도, 오프라인 레시피 관리 등 다양한 옵션이 제공됩니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC는 반도체 제조 산업을 위해 설계된 강력하고 고급 etcher/asher입니다. 모듈식 (modular) 설계가 적용되었으며, 높은 처리량과 향상된 기능 균일성을 통해 보다 효율적인 생산 프로세스 주기를 제공합니다. 신뢰성이 높고, 사용자 정의가 용이한 이 장비는 다양한 애플리케이션에 적합하며, 반도체 (semiconductor) 업체들이 생산능력을 높이려는 데 매우 적합합니다.