판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC #9266608

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC
ID: 9266608
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
Oxide dry etcher, 6" 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC는 최고의 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 장비는 실험실에서 제조업 (manufacturing) 에 이르기까지 다양한 응용 분야와 산업에서 사용하도록 설계되었습니다. TEL TE 8500 ESC는 차이 프로세스 챔버를 사용하여 정확한 에칭 및 애싱 기능을 만듭니다. 차이 공정 챔버 (differences process chamber) 는 플라즈마 쉴드로 분리되는 별도의 프로세스와 배기 챔버로 나뉩니다. 이 배열은 에칭 및 애싱 프로세스에서 뛰어난 청결 함, 고속 및 균일성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC는 매우 정밀한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 이 시스템은 직접/간접 웨이퍼 전송을 통해 최대 수율을 보장할 수 있습니다. 실시간 오류 인식 장치 (Real-time Error Recognition Unit) 도 통합되어 웨이퍼 또는 시스템 자체에 대한 물리적 손상을 방지합니다. 이 도구는 또한 이온화 된 물리적 증기 증착 (PVD), 화학 증기 증착 (CVD), 진공 자외선 (VUV) 및 저항성 ashing과 같은 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 지원할 수 있습니다. 이러한 프로세스는 다양한 정밀도 (precision) 옵션을 제공하며 사용자의 특정 요구 사항에 맞춰 조정할 수 있습니다. TE 8500 ESC 는 또한 특정 애플리케이션으로 사용자 정의할 수 있으며, 정밀도 향상을 위한 온보드 냉각 시스템 (Onboard Cooling System) 과 같은 추가 기능으로 업그레이드할 수 있습니다. 또한, 자산은 사용하기 쉽고, 최소한의 유지 보수가 필요하므로, 바쁜 실험실 및 산업 환경에 이상적입니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC는 뛰어난 정밀도와 성능을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 이 모델은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 지원하며, 직접/간접 웨이퍼 전송을 제공하며, 특정 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 게다가, 장비는 사용하기 쉽고, 최소한의 유지 보수가 필요하므로, 바쁜 실험실과 산업 환경에 적합합니다.
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