판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9148201

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC는 고급 처리 성능을 제공하기 위해 최신 업계 최고의 기술로 설계된 에처/애셔입니다. 이 기계는 단일 페데스탈 (pedestal) 을 장착하여 시간당 최대 8500 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 고급 장치 처리에 필요한 단단한 표면 및 에지 프로파일 사양을 충족합니다. 또한, 습식 또는 건식 공정 에칭을 위해 장비를 구성 할 수 있습니다. 에칭/애싱 성능을 최대화하고 입자 생성을 최소화하기 위해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 감지하고 최적화하도록 설계된 고급 내부 센서입니다. 이 시스템은 또한 고급 클리닝 기능 (advanced cleaning function) 을 갖추고 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 품질을 보장합니다. 이 기계는 또한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 후 웨이퍼 (wafer) 에 남은 잔류 수준을 감지할 수있는 레이어 두께 모니터를 갖추고 있어 우발적 인 오버 에칭 (over-etching) 또는 오버 애싱 (over-ashing) 을 방지합니다. 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 프로세스의 지속 시간과 품질을 지속적으로 모니터링함으로써 일관된 에칭/어싱 속도를 유지할 수 있으며, 사용자가 안정적이고 반복 가능한 에칭/어싱 기능을 제공합니다. TEL TE 8500 ATC는 작동이 용이하도록 설계된 완전 자동화 장치입니다. 특정 응용프로그램 (application) 과 재료 (materials) 에 대한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 수행하도록 프로그래밍할 수 있으며 프로세스 및 성능 분석 데이터를 자동으로 저장하여 보다 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 높은 처리량 연결 옵션을 갖추고 있으며, 반도체 생산 자동화를 위해 다른 TE 시스템과 쉽게 연결할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC는 반복 가능하고 안정적인 결과를 제공하는 고급 에칭/애싱 성능을 제공합니다.