판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9292597

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401은 세라믹 및 금속을 포함한 다양한 물질에 대한 정확한 증착 및 에칭을 제공하는 고급 화학 에처/애셔입니다. 박막 증착, 결정화, 도핑 등의 고급 재료 처리를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 저압 진공 증착 (low-pressure, vacuum deposition) 방법을 사용하여 종횡비 기능이 높은 서브 미크론 증착 두께를 가능하게합니다. 이 시스템은 자체 독립 PLC 및 전용 프로세스 컴퓨터에서 작동하여 고급 기술, 프로세스, 레시피를 활용할 수 있습니다. 이 장치의 전극 바이어스 제어는 사용 가능한 최고 해상도 에칭 (etching) 과 정확한 농도 제어 보증으로 높은 정밀 에칭 및 증착을 제공하는 3 구역 (zone) 을 제공합니다. 단일 웨이퍼 (wafer) 방식을 사용하면 가장 까다로운 생산 요구 사항을 충족할 수 있는 정확한 균일성과 유연성이 제공됩니다. 저압 프로세스는 또한 기본 웨이퍼의 손상을 보장하지 않습니다. 자동 게이징 장치는 기판 프로파일을 빠르고 정확하게 측정합니다. 이 기계는 사용자에게 친숙한 인터페이스와 다양한 레시피 (레시피) 와 프로그램 (프로그램) 을 제공하여 사용자에게 전체 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이러 한 "프로그램 '들 은 그 도구 가 재료 과학 의 최신 진보 에 부응 할 수 있도록 정기적 으로 업데이트 된다. 또한 여러 가지 레시피를 저장할 수 있으므로 필요에 따라 활용 할 수 있습니다. GEM80을 사용하여 TEL TE 8401과 GEM80의 조합은 타의 추종을 불허하는 재료 에칭 및 증착 제어를 제공합니다. 이 기능에는 금속 화 라인 및 ITO/LCL 박막 구성 요소와 같은 작은 기능을 생산하도록 최적화된 레시피가 있습니다. GEM80은 또한 등각 코팅 프로세스를 지원하여 초박형 폴리머 또는 금속을 몇 개의 옹스트롬에서 여러 미크론 (micron) 으로 증착 할 수 있습니다. 다재다능한 TOKYO ELECTRON TE-8401 etcher/asher는 다양한 물질에 대한 정확한 증착과 에칭을 가능하게하는 강력한 도구입니다. 고급 기능과 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 고급 재료 처리를 완벽하게 선택할 수 있습니다.