판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9134027

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401은 드라이 에칭 및 웨이퍼 애싱을위한 고도의 에처/애셔 장비입니다. 획기적인 클로즈드 타입 (closed-type) 디자인으로 제작되었으며, 탁월한 처리 성능과 품질을 제공하며, 환경 안전을 보장하고 인건비를 절감합니다. TEL TE 8401은 기판 재질이나 기능 크기에 관계없이 이상적인 에칭 조건을 보장하는 고성능 에칭 (etching) 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 또한 프로세스 간 변형을 최소화하는 독점적 인 컴퓨터 제어 에칭 작업 시스템 인 Real-Time Clustering InformalTARGET이 있습니다. 이 장치는 높은 수준의 에칭 재생성 (etching reprodibility) 을 유지하여 모든 기판에서 일관된 에칭 품질을 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE-8401에 포함 된 고급 애싱 기술은 뛰어난 입자가없는 애싱 결과를 제공합니다. 또한 필요에 따라 열 처리, 희생 패터링, 이온 빔 조사와 같은 기질에 대한 광범위한 처리가 특징입니다. 또한, 안전한 작동을 보장하기 위해 TEL TE-8401에는 폐쇄 된 공구 비활성 가스를 사용하는 안전 머신 (safety machine) 이 포함되어 있어 유해 물질 누출을 방지합니다. 안전자산의 표지에는 "가스 누출 (gas leak) '이 감지될 경우 경보를 유발하는" 알람 (alarm)' 모형이 장착돼 있다. 이는 운영자와 환경에 아무런 해를 끼치 지 않습니다. 또한 TE 8401 에는 AUTOSET 이라는 고급 소프트웨어 패키지가 있는데, 이를 통해 운영자는 모든 레시피 매개변수를 프로그래밍하고 필요에 따라 쉽게 저장, 재생산할 수 있습니다. 이를 통해 레시피 처리가 크게 단순화되고 생산성이 향상됩니다. 장비의 전체 유지 보수 및 수명을 향상시키기 위해 TOKYO ELECTRON TE 8401 (TOKYO ELECTRON TE 8401) 에는 정해진 간격으로 손쉬운 청소 작업을 제공하는 자동 청소 기능이 포함되어 있습니다. 이것은 기계에서 처리 된 모든 웨이퍼의 완벽한 품질을 보장합니다. 그 결과, TE-8401 은 탁월한 처리 성능과 품질을 제공하는 최고의 에칭 (etching) 및 웨이퍼 애싱 (wafer ashing) 시스템이며, 환경 안전을 보장하고 인건비를 절감합니다.