판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8400 #9051322

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400은 반도체 및 기타 기판을 정확하게 구성하고 처리하도록 설계된 에처/애셔입니다. TEL TE 8400은 사망, 다이오드 및 기타 디지털 집적 회로를 에칭 할 수있는 습식 에치 장비입니다. 이 시스템에는 정확한 패턴화 공정을 위해 무접촉, 웨이퍼 대 웨이퍼 처리 장치 및 7 면 플라즈마/화학 전달 기계가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8400은 etch, photolithography, resist stripping 및 metal deposition을 포함한 다양한 프로세스를 지원합니다. 이 도구 는 염소 나 "플루오린 '과 같은 이온화 된 원천" 가스' 를 이용 하여 정밀 한 "플라즈마 '를 만들어" 웨이퍼' 에 넣는다. "가스 '는 무선 주파수 (RF) 신호 와 결합 되어" 플라즈마' 를 생성 하여 "웨이퍼 '표면 에 부가적 인 물질 을 에칭 하거나 증착 시킬 수 있다. 또한, TE 8400은 화학 스테이션을 사용하여 에치 전력을 강화하고 에치 프로세스 시간을 줄입니다. 자산은 산화물 반사 방지 (AR) 코팅, 터널 청소, 스페이서 바이 패스 및 etch 선택성 최적화와 같은 고급 기능으로 구성됩니다. AR 코팅은 웨이퍼 표면에서 반사도를 줄여 정확한 마이크로 패턴을 보장합니다. 터널 청소는 에치 엔드 포인트 (etch end point) 쪽으로 발전하는 원치 않는 오염 물질을 제거하여 에칭 프로세스의 부산물을 줄입니다. 스페이서 우회 (Spacer Bypass) 는 기존의 하드 마스크 스페이서의 필요성을 제거하고 사용자가 직접 에치 (etch) 기능을 패턴화할 수 있도록 합니다. 마지막으로, 에치 선택성 최적화 (etch selectivity optimization) 는 프로세스 반복성을 향상시키고 프로세스 변형에 대한 민감도를 줄입니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400에는 자체 진단, 센서, 경보 및 보안 잠금을 포함한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 자체 진단 (self-diagnostics) 기능은 모델 상태 및 성능을 모니터링하여 기계의 최적의 작동을 보장합니다. 센서는 외부 프로세스 조건을 모니터링하여 정확한 에치 프로세스를 확인합니다. @ info: whatsthis 마지막으로, 보안 잠금 시스템은 권한이 있는 직원만 장치에 액세스할 수 있도록 합니다. 전반적으로, TEL TE 8400은 까다로운 반도체 및 기타 기판 제품에 적합한 정교한 etcher/asher입니다. 이 기계의 고급 엔지니어링 및 기능 (Advanced Engineering and Feature) 은 사용자가 정확하고 반복 가능한 에치 프로세스와 향상된 안전 및 보안을 제공합니다.