판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500M #293600493

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M은 실리콘, GaAs 및 AlAs와 같은 재료의 정확하고 고효율 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 고급 다단계 기법 (advanced multi-step technique) 을 기반으로 하며, 처리할 서피스에는 여러 단계, 순차 에칭 및/또는 애싱 단계가 적용됩니다. 그 결과, 정확 하고 반복 할 수 있는 가공 장치 가 나오는데, 이것 은 오염 물질 이 가장 적게 들어 있는 가장 높은 수율 을 제공 하도록 설계 되었다. TEL TE 7500M (TEL TE 7500M) 에는 다양한 고급 기능이 장착되어 있어 에칭 및 어싱 (ashing) 요구 사항을 충족하는 강력하고 안정적이며 사용이 간편한 솔루션입니다. 멀티 웨이퍼 카세트 로딩 장치 (multi-wafer cassette loading unit) 및 자동 전송 기능은 운영자 처리를 줄이는 반면, 자동 잠금 기판 홀더는 기판 로드의 정확한 정렬 및 추적 가능성을 보장합니다. 또한 전체 설정, 모니터링, 제어 기능을 갖춘 직관적이고 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 7500M의 에칭 및 애싱 기능은 최고 제품입니다. 지능적이고 정교한 프로세스 제어 시스템을 제공하여 생산성과 생산성을 최적화할 수 있으며, 선택 가능한 힘 제어 습식 에칭 (force controlled wet etching), 높은 처리량 건조 에칭 (high throughput dry etching), 고귀한 가스 발작 (noble gas ashing) 을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 정확한 프로세스 결과를 보장하기 위해 고급 화학, 질량 균형 모니터링 및 조정과 함께 균일 한 에치 깊이 (etch depth) 에 대한 글로벌 기하학적 교정이 포함됩니다. TE 7500M은 화학적 펌프 (pump) 와 내장형 기계식 펌프를 자랑하는 진공 전달 자산 (in-situ monitor) 과 화학적, 프로세스, 진공 매개변수를 모니터링하고 조정하여 높은 제품 품질을 보장합니다. 구성 템플릿, 스케줄 지정 모드, 온라인 레시피 수정과 같은 추가 기능을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M은 고급 에칭 및 애싱 요구에 이상적인 장치입니다. 전반적으로 TEL TE 7500M은 정확성과 신뢰성이 필요한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 고급 기능, 신뢰할 수 있는 프로세스, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 이 모델은 탁월한 성능과 효율성을 제공하면서, 폐기물을 최소화하고, 생산량을 높일 수 있도록 설계되었습니다.