판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198159

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500은 다양하고 안정적이며 사용자 친화적 인 에칭/애싱 장비입니다. 그것은 SiO2, 석영, 금속 및 중합체를 포함한 다양한 물질로 구성된 기질을 에치 (etch) 하고 재 (ashe) 하는 데 사용될 수있다. 시스템은 이온 빔 에칭 (IBE) 기술을 사용하여 에칭 프로세스를 정확하게 제어합니다. 기판 호환성을 통해 다양한 응용 프로그램에 적합하며, 고급 기능을 통해 MEMS/MOEMS, 반도체 장치 구성 (semiconductor device fabrication) 및 기타 신흥 기술과 같은 응용 프로그램에 적합합니다. TEL TE 7500은 직관적인 그래픽 인터페이스를 통해 작동하는 완전 자동화 장치입니다. 동력 로터리 스테이지 (Motorized Rotary Stage) 및 조절 가능한 타일 (Tile) 을 내장하여 기판의 정밀 정렬을 가능하게 하며 수동 조정의 필요성을 최소화합니다. 이것은 기계를 쉽게 사용할 수 있게 해주고, 에칭과 재싱 (ashing) 동안 큰 정확도를 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE 7500에는 프로세스 일관성과 정확성을 향상시키는 몇 가지 기능이 있습니다. 이 기능에는 정확한 반응 조절 및 식각 속도 (etching rate) 에 대한 정확한 온도를 유지하는 온도 조절 도구 (temperature control tool) 와 식각 과정 중 압력을 모니터링하여 안정적이고 효과적인 화학을 보장하는 센서 (sensor) 가 포함됩니다. 또한 에셋에는 에칭 (etching) 프로세스를 실시간으로 모니터링하고, 결과를 최적화하고 처리 시간을 단축하는 데 도움이 되는 피드백 (feedback) 을 제공하는 전용 빔 (beam) 진단 모델이 있습니다. 이 장비는 조절 가능한 노즐 (nozzle) 과 진공 회선 (vacuum line) 을 사용하여 에칭 및 재싱 시 최대 효율성을 제공합니다. 또한 에칭 중 최적화 된 전하 정렬을 위해 조절 가능한 에칭 빔 (etching beam) 과 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 사용합니다. 마지막으로, 시스템은 유지 관리 및 다운타임을 줄이는 데 도움이 되는 자동 청소 모듈을 포함합니다. 전반적으로, TE 7500은 다양한 어플리케이션에 적합한 기능과 기능을 갖춘 탁월한 에칭/애싱 (etching/ashing) 장치입니다. 품질 (Quality) 결과에 필요한 내구성, 정확성, 정확성, 그리고 사용 편의성, 그리고 모든 기술 수준의 사용자에게 적합합니다.