판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198158

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500은 다양한 응용 분야를 위해 설계된 다재다능한 에치/애셔 장비입니다. 에치/애쉬 (etch/ash) 프로파일링 기능이 뛰어나 에치/애쉬 깊이와 프로파일 모양을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 원하는 프로세스 조건을 쉽게 프로그래밍할 수 있는 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 가 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 프로세스 정확성, 반복 가능성, 신뢰성을 보장하기 위해 다양한 센서와 프로세스 제어 구성 요소를 갖추고 있습니다. 광범위한 디스플레이는 실시간 프로세스 정보에 대한 액세스를 제공하며, 따라서 도구 작업을 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. TEL TE 7500은 높은 에치/애쉬 속도를 제공하여 습식 및 건식 에칭 프로세스를 모두 지원합니다. 또한 프로세스 요구 사항을 충족하는 다양한 가스 흐름 제어 (gas flow control) 기능을 제공합니다. 자산은 작고 견고한 설계로, 부식성 손상을 최소화하는 화학적 내성 (chemical-resistant) 구조를 갖추고 있습니다. 와이퍼 및 플레이트를위한 통합 미니 헤드 디자인이 장착되어 있습니다. 다양한 에치/애쉬 마스크 (etch/ash mask) 도 사용할 수 있으므로 사용자가 에치/애쉬의 프로파일을 제어 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 7500은 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 덕분에 쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있습니다. 또한 수동 (manual) 프로세스와 자동 (automated) 프로세스 모두에 사용하도록 설계되어 사용자에게 더욱 뛰어난 유연성을 제공합니다. 유연성은 또한 여러 웨이퍼 로드 및 언로드 모드를 허용합니다. 또한 TE 7500에는 스크러버 (스크러버) 가 내장된 배기 (배기) 모델이 장착되어 있어 높은 수준의 안전성과 규정 준수가 가능합니다. 이 장비는 높은 수준의 프로세스 제어 (Process Control) 및 안전 (Safety) 기능을 제공하기 때문에 청소실 환경에 적합합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500은 다양한 응용 프로그램에서 우수한 에치/애쉬 성능을 제공 할 수있는 신뢰성이 높고 다재다능한 에치/애셔 시스템입니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit), 다중 웨이퍼 로드 및 언로드 모드 (Unloading Mode) 및 내장 스크러버 (Scrubber) 를 통해 많은 에칭 프로세스에 안전하고 안정적인 선택이 가능합니다.