판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198156

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500은 다양한 산업 응용 분야에 사용되는 CMP (chemical-mechanical polishing) 프로세스를 만들도록 설계된 에처 및 애셔 장비 유형입니다. 이 시스템은 최적의 프로세스 처리량을 위해 정확한 화학 기계 재료 제거, 1 강 스트롬 레벨 웨이퍼 연마 및 다중 챔버 구성을 제공합니다. 또한 고급 연구/개발 (Advanced Research and Development) 에 사용하기 위한 다양한 실험 모듈 구성과도 호환됩니다. TEL TE 7500에는 'ePolish' 와 'etch/Ash' 모드의 두 가지 프로세스 유형이 있습니다. ePolish 모드에서는 CMP 기술의 사용을 통해 등방성 (isotropic) 및 표면 분할 연마 (surface-segmented polishing) 를 제공하여 정확한 프로세스 제어 및 뛰어난 웨이퍼 연마 정확도를 제공합니다. etch/Ash 모드의 경우, TOKYO ELECTRON TE 7500은 모듈 식 멀티 챔버 아키텍처를 특징으로하며, 에치/애쉬 레시피에 최적화된 처리가 가능하며, 기판 전송 정확도에 대한 효율적인 웨이퍼 인터페이스입니다. TE 7500은 디지털 브러시리스 (brushless) 스핀들 (spindle) 모터 설계를 활용하여 프로세스 회로 효율을 극대화하여 더 높은 처리율을 얻을 수 있습니다. 또한 표준 웨이퍼 연마 및 에칭/애싱 프로세스의 액체 환경을 모니터링하고 조정하는 Intelligent Oasis Control Software가 있습니다. 이를 통해 장치가 프로세스 안정성을 자동으로 유지하여 재생성 및 품질 관리 (Quality Control) 를 높일 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500에는 in-situ Oxide/Metallization Deposition Machine이 있으며, 이를 통해 연마, 에칭 또는 재싱을위한 웨이퍼를 즉시 준비 할 수 있습니다. 또한, TEL TE 7500은 CMP 프로세스 동안 프로세스 매개 변수를 실시간으로 최적화하는 지능형 레시피 제어 소프트웨어를 갖추고 있으며, 현장 내 산화물/금속화 증착 (Oxide/Metalization Deposition) 도구에 저장된 검증된 레시피 데이터베이스를 활용하여 최적의 주기 및 프로세스 품질을 보장합니다. 오픈 소스 레시피 개발 도구 (open source recipe development tool) 도 새로운 프로세스의 테스트 및 개발에 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 7500은 강력하고 신뢰할 수있는 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 자산으로 뛰어난 프로세스 정확도와 처리량을 제공합니다. 다양한 기능으로 인해 웨이퍼 레벨 포장, 고급 유전체 CMP (Advanced Dielectric CMP) 또는 거대한 자기 저항 장치 제작과 같은 많은 산업 응용 분야에 이상적인 선택이되었습니다. 이 모델은 성공적인 업무 운영의 핵심 요소인 프로세스 비용 (process cost) 을 제어하는 데 이상적인 솔루션입니다.