판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9202961

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400은 반도체 웨이퍼 제작을위한 전문 에처/애셔입니다. 에칭 및 애싱 프로세스에서 우수하고, 안정적이며, 반복 가능한 성능을 제공합니다. TEL TE 7400은 특허를받은 Pyrolysis precondioner 장비를 갖추고 있으며, 이는 불균일 한 에칭 및 애싱 수준을 크게 줄일 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 7400 (TOKYO TE 7400) 은 프로그래밍 가능한 에처 및 애셔이며 etch 및 ash 매개 변수의 제어를 위해 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 제공합니다. GUI 는 프로세스 매개 변수를 수동으로 제어할 수 있으며, 최대 50 개의 개별 레시피를 저장할 수 있습니다. 또한 TE 7400 은 자동 프로세스를 지원하여 다운타임을 줄이고 수작업 (manual operation) 에 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. 에처는 O2, SF6, CF4 및 CHF3을 포함한 광범위한 에칭 가스를 처리하도록 설계되었습니다. 텔/도쿄 전자 TE 7400 (TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400) 은 에칭 가스를 웨이퍼에 균일하게 전달하도록 설계된 반응성 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 웨이퍼는 2 개의 가공 챔버로 처리되며, 하나는 에칭용으로, 하나는 애셔로 처리됩니다. 에칭 및 애싱 시간은 0-999 초의 범위로 조정할 수 있습니다. TEL TE 7400 (TEL TE 7400) 에는 표준 설계에서 맞춤형 설계에 이르기까지 다양한 전극 디자인을 장착하는 스테이션도 있습니다. 표준 설계는 에칭 작업에 사용할 수 있고, 사용자 정의된 설계는 슬릿 에칭 작업에 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 7400 optics unit은 etch 및 ash 작업 중에 균일하고 정확한 전극 제어를 보장하여 뛰어난 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. TE 7400에는 etching 및 asher 챔버의 프로세스 가스 흐름을 정확하게 제어하는 SEMFC (Scan Electronics Mass Flow Controller) 도 있습니다. 이 기능은 etching 및 ashing 프로세스가 정확하고 반복 가능하도록 보장합니다. 또한 웨이퍼의 공백 또는 의도하지 않은 에치 또는 재 (재) 를 최소화하는 데 도움이됩니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400에는 몇 가지 안전 기능이 제공됩니다. 자동 도어 (automatic door) 인터 록이 있으며, 압력이 작동 한계를 초과할 때 etcher를 종료하기 위해 etcher 및 over-pressure 스위치를 입력할 때 안전성을 보장합니다. in-dwell 모니터링 기능은 etch 및 ash 프로세스 동안 웨이퍼의 온도를 지속적으로 확인합니다. 이것은 균일 한 에칭과 재싱의 정확한 온도를 보장하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 TEL TE 7400 (TEL TE 7400) 은 반도체 웨이퍼 제작을위한 전문화 된 에처이며, 우수한 결과를 제공하며 작동하기 쉽습니다. 특허를받은 프리 컨디셔너 머신 및 프로그래밍 가능한 공정 제어 설정을 통해 TOKYO ELECTRON TE 7400은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 성능을 제공하며, 이는 많은 에칭 및 애싱 작업에 필수적입니다.