판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198267

TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400
ID: 9198267
웨이퍼 크기: 6"
Oxide etchers, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400은 고급 반도체 생산을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으므로 반도체 생산, 웨이퍼 프로브 (wafer probing) 및 포장에 이상적입니다. 이 기계는 수성 기반 습식 장비를 갖추고 있으며, 최대 100nm/min의 에치 레이트를 활성화하고 최대 100 ° C의 웨이퍼 온도를 선택합니다. 또한 다중 캐비티 (cavity) 구성과 고급 프로세스 모니터링 (process monitoring) 기능을 제공하여 정확한 문제 해결 기능을 통해 정확한 에치 프로파일을 구현할 수 있습니다. TEL TE 7400 (TEL TE 7400) 은 온도 및 기타 매개변수에 따라 정확한 에치 속도를 정확하게 제어 할 수있는 기능 덕분에 매우 정확한 자동화 시스템을 자랑합니다. 사용이 간편한 레시피는 장치를 작동하기 쉽고, 빠르고, 정확하게 설정하도록 만듭니다. 이 기계는 또한 많은 양의 IC 및 기판을 처리 할 수 있습니다. 즉, 생산 실행에 적합하다는 것을 의미합니다. TOKYO ELECTRON TE 7400 (TOKYO ELECTRON TE 7400) 의 친환경 디자인은 냉각수를 활용하여 바람직하지 않은 에친트 증기를 제거하며 휘발성 화합물을 쉽게 대피 할 수있는 잘 설계된 배기 도구를 갖추고 있습니다. 동봉 된 디자인은 또한 위험한 에칭 화학 물질에 노출되는 것을 제한합니다. TE 7400은 고급 이미지 기반 프로세스 모니터를 통해 실시간 웨이퍼 이미징 (wafer imaging) 을 가능하게 하며, 이를 통해 정확한 프로파일 제어 및 프로세스 튜닝을 수행할 수 있습니다. 이 모니터는 또한 에칭 (etching) 프로세스에 대한 심층적인 분석을 통해 중요한 프로세스 매개변수에 대한 통찰력을 제공합니다. 자동 클리닝 (Automatic Cleaning) 및 오버에칭 (over-etching) 작업을 활성화하여 다양한 기판에 걸쳐 깔끔하고 일관된 에칭 프로파일을 보장할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 (TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400) 은 정밀도를 유지하기 위해 프로세스 매개변수를 자동으로 조정하는 에칭 속도를 정확하게 감지할 수 있습니다. 이러한 기능을 결합하면 TEL TE 7400은 신뢰성이 높은 etcher/asher이며, 이는 고급 반도체의 효율적이고 정확한 생산을 보장합니다.
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