판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198161

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400은 전자 제조 산업에 사용되는 에처/애셔입니다. 정확성과 정확성이 필요한 어플리케이션을 위해 설계된 고급 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼에 서브미크론 정확도로 피치 (fine-pitch) 패턴을 에치하고 씻습니다. TEL TE 7400 (TEL TE 7400) 은 에칭 및 세척 프로세스 동안 일관된 결과를 보장하기 위해 실시간 피드백을 제공하는 자동 장치입니다. 기계에 멀티 가스 제트 (multi-gas jet) 가 포함되어 있어 에칭 가스를 정확하게 선택하고 제어 할 수 있습니다. 각 "가스 '의 압력 과 흐름 은" 에치' 율 과 "프로파일 '이 특정 한 요구 조건 에 맞게 조정 될 수 있도록 독립적 으로 조절 된다. 배럴 히터는 공정 챔버를 400 ° C의 온도까지 가열하여 에치 레이트와 품질을 향상시킵니다. 프로세스 챔버 내에서 가능한 온도 변화를 보완하기 위해 AMS (Automatic Chamber Matching Tool) 가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 7400은 최대 300mm의 대형 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼의 양면 처리를 위해 2 개의 로드 락 시스템을 사용합니다. 각 "웨이퍼 '는 자체 전용 적재 장치 에 적재 되어 더 큰" 웨이퍼' 를 더 빨리 적재 할 수 있다. 이 자산의 유연한 설계에는 손쉬운 유지 관리 및 서비스를 위한 개방형 도어 (Open Door) 디자인이 포함되어 있습니다. 이 모델은 MIA/PPC 및 ICOS와 같은 다양한 자동화 및 제어 시스템과 호환됩니다. 또한 간편한 프로그래밍 및 문제 해결을 위한 직관적인 연산자 인터페이스가 포함되어 있습니다. TE 7400은 전자 부품의 정밀 에칭 및 세탁을 위한 안정적인 도구입니다. 전자 제품 제조 장비 (Electronics Fabrication Equipment) 의 필수 부분이며 고품질 제품을 제조하는 데 도움이 됩니다.