판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109090

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC는 초미세 패턴화 및 부드러운 표면 마감을위한 고급 etcher/asher 프로세스 도구입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 뛰어난 입자 오염 제어를 통해 높은 처리량을 제공하며 웨이퍼 전체에서 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이 고급 에처/애셔는 카세트를로드하고 언로드합니다. 이 시스템은 최대 8 개의 카세트를 적재 할 수 있으며, 이로써 보다 효율적인 웨이퍼 텔레 포테이션이 가능합니다. 고급 TEL TE 580LC asher/etcher는 또한 웨이퍼 백래시를 줄이고 웨이퍼에 대한 잠재적 피해를 주는 개선 된 스테이지 디자인을 갖추고 있습니다. 웨이퍼가 로드되면 TOKYO ELECTRON TE 580LC etcher/asher는 로드 잠금 프로세스 챔버를 사용합니다. 이 공정 챔버에는 1 개 또는 2 개의 승화로와 기판 바이어스가 장착되어 있습니다. 이러한 기술 조합을 통해 프로세스 제어 향상, 웨이퍼 처리 속도 향상, 에지 정의 향상 등을 실현할 수 있습니다. 에처/애셔에는 고급 에치 제어 기능도 있습니다. 이 고급 에치 제어 (advanced etch control) 를 사용하면 자동 자기장을 통해 에치 속도를 변경할 수 있습니다. 이 에치 속도는 특정 요구 사항에 따라 조정할 수 있습니다. 또한, 이 고급 etcher/asher는 향상된 etch 균일성과 정확한 제어를 위해 높은 정전 용량의 에너지 저장 시스템을 가지고 있습니다. 개선 된 에치 균일성은 더 나은 프로세스 반복 성과 더 높은 수율을 가능하게합니다. TE 580LC는 또한 최대 온도 400 ° C의 고온 프로세스를 특징으로합니다. 이 기능은 우수한 프로파일 성능을 달성하고 높은 제품 품질을 보장합니다. 또한 "가스 '처리 를 감소 시키는 일반적 인 문제 가 된" 가스' 처리 를 방지 하는 데 도움 이 된다. 또한이 고급 에처/애셔에는 오염 제어에 대한 고급 중성자 방사선 탐지가 포함됩니다. 이 기능은 원치 않는 오염 물질을 감지하고 신속하게 제거하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC etcher/asher는 초고급 패턴화 및 부드러운 표면 마감을위한 고도의 공정 도구입니다. 전체 "웨이퍼 '에 걸쳐 뛰어난 처리량과 뛰어난 균일성을 제공하며, 뛰어난" 프로파일 성능' 과 프로세스 반복성을 얻을 수 있다.